第24回
（2023年度） |
研究業績 | 遠藤 守信 氏 | 触媒気相成長法カーボンナノチューブを中心とした
ナノカーボンに関する研究と産業応用への貢献 |
| 研究業績 | 堀 勝 氏 | ラジカル制御プラズマプロセスの先駆的研究 |
第23回
（2022年度） |
研究業績 | 内田 龍男 氏 | 液晶の基礎物性の解明と高性能液晶ディスプレイの開発による産業展開への貢献 |
| 研究業績 | 湯浅 新治 氏 | 酸化マグネシウム磁気トンネル接合の先駆的研究 |
第22回
（2021年度） |
研究業績 | 安達 千波矢 氏 | 革新的な材料創成による有機発光デバイスの高性能化 |
| 研究業績 | 江刺 正喜 氏 | MEMS 技術の発展と産業展開への貢献 |
第21回
（2020年度） |
研究業績 | 平川 一彦 氏 | 量子ナノ構造を用いたテラヘルツ電磁波技術の先駆的研究 |
第20回
（2019年度） |
研究業績 | 青野 正和 氏 | 固体表面の構造や組成を原子レベルで解析・操作する先駆的基礎研究と
原子スイッチの発明と開発による産業技術への貢献 |
| 研究業績 | 須﨑 渉 氏 | AlGaAs/GaAs系赤色半導体レーザーの先駆的研究と
縦型接合ストライプ（TJS）構造の開発による実用化への貢献 |
| 教育業績 | 本宮 佳典 氏 | 著作「波動光学の風景」を通した若手研究者・技術者の育成への貢献 |
第19回
（2018年度） |
研究業績 | 中村泰信 氏 | 超伝導量子ビットの実現と量子技術応用に関する先駆的研究 |
| 研究業績 | 宮坂 力 氏 | 有機無機ペロブスカイト太陽電池の創製と高効率化 |
| 教育業績 | 佐々木 昭夫 氏 | 新学術分野「混晶エレクトロニクス」の創成と若手人材育成への貢献 |
第18回
（2017年度） |
研究業績 | 樽茶清悟 氏 | 人工原子分子による量子情報エレクトロニクス |
| 研究業績 | 鳥海 明 氏 | 先端MOSデバイスの素子物理・材料科学に関する研究と産業技術への貢献 |
第17回
（2016年度） |
研究業績 | 都甲潔 氏 | 生体を模倣した味覚・嗅覚センサーの先駆的研究と実用化 |
| 研究業績 | 山西 正道 氏 | 波動関数制御光デバイスの先駆的研究と実用化 |
第16回
（2015年度） |
研究業績 | 香取 秀俊 氏 | 光格子時計の先駆的研究 |
| 研究業績 | 堀池 靖浩 氏 | 半導体ドライエッチング技術の先駆的研究開発と産業展開への貢献 |
第15回
（2014年度） |
研究業績 | 小柳 光正 氏 | 大容量メモリ技術の産業展開への貢献と三次元集積化技術の先駆的研究 |
| 研究業績 | 野田 進 氏 | フォトニック結晶工学に関する先駆的研究 |
| 教育業績 | 佐藤 勝昭 氏 | インターネット・書籍等を通じた応用物性分野の教育・普及活動への貢献 |
第14回
（2013年度） |
研究業績 | 荒川 泰彦 氏 | 量子ドットレーザの先駆的研究 |
| 研究業績 | 鯉沼 秀臣 氏 | 酸化物薄膜材料に関する先駆的研究 |
第13回
（2012年度） |
研究業績 | 中沢 正隆 氏 | 半導体レーザー励起エルビウム光ファイバ増幅器の先駆的研究と応用展開 |
第12回
（2011年度） |
研究業績 | 大野 英男 氏 | 半導体スピントロニクスにおける先駆的研究 |
| 研究業績 | 西永 頌 氏 | 半導体エピタキシャル結晶成長に関する先駆的研究 |
第11回
（2010年度） |
研究業績 | 細野 秀雄 氏 | 新機能酸化物の創製に関する先駆的研究 |
| 教育業績 | 辻内 順平 氏 | 光学情報処理分野の育成による学術・産業界への貢献 |
第10回
（2009年度） |
研究業績 | 北澤 宏一 氏 | 銅酸化物高温超伝導体の電磁物性の先駆的研究 |
| 研究業績 | 武田 英次 氏 | 集積化シリコン微細MOSFET の高電界効果に関する先駆的研究と産業技術への応用研究 |
| 教育業績 | 小舘 香椎子 氏 | 理系女性研究者育成と男女共同参画・人材育成の推進 |
第9回
（2008年度） |
研究業績 | 榊 裕之 氏 | 半導体量子ナノ構造デバイスに関する先駆的研究 |
| 研究業績 | 宮﨑 照宣 氏 | 室温トンネル磁気抵抗素子の先駆的研究 |
第8回
（2007年度） |
研究業績 | 濱川 圭弘 氏 | アモルファスシリコン系太陽電池の先駆的研究 |
| 研究業績 | 廣瀬 全孝 氏 | アモルファス半導体超格子とシリコン集積化技術に関する基礎的・先導的研究 |
第7回
（2006年度） |
研究業績 | 末松 安晴 氏 | 光ファイバー通信用半導体レーザーの先駆的研究 |
| 研究業績 | 丸山 瑛一 氏 | 非晶質半導体を用いた高性能撮像素子に関する先駆的研究 |
第6回
（2005年度） |
研究業績 | 伊賀 健一 氏 | 面発光半導体レーザーの先駆的研究 |
| 研究業績 | 志水 隆一 氏 | マイクロビームアナリシスにおける先駆的基礎研究と表面分析技術への貢献 |
第5回
（2004年度） |
研究業績 | 菅野 卓雄 氏 | シリコンMOS デバイスの先駆的研究とLSI 技術発展への貢献 |
| 研究業績 | 難波 進 氏 | ビーム技術の半導体工学への応用に関する先駆的研究 |
第4回
（2003年度） |
研究業績 | 松波 弘之 氏 | SiC 半導体・デバイスの先駆的研究 |
| 研究業績 | 三村 高志 氏 | 高電子移動度トランジスタ（HEMT）の発明と開発 |
| 教育業績 | 靏田 匡夫 氏 | 著作『光の鉛筆』を通した教育貢献 |
第3回
（2002年度） |
研究業績 | 飯島 澄男 氏 | カーボンナノチューブの先駆的研究 |
| 研究業績 | 田中 昭二 氏 | 酸化物超伝導体の先駆的研究 |
第2回
（2001年度） |
研究業績 | 赤﨑 勇 氏 | 窒化物半導体青色発光デバイスの先駆的研究 |
第1回
（2000年度） |
研究業績 | 林 厳雄 氏 | 半導体レーザーの開発と光接続ICの提案 |
| 教育業績 | 毛利 衛 氏 | 学者宇宙飛行士として宇宙環境利用の普及教育活動 |
