OYO BUTURI
Vol.86
No.2
2017
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応用物理 第86巻 第2号 (2017)

パワーエレクトロニクス,有機材料デバイス,バイオ技術から最新の顕微評価技術まで

Cover of OYO BUTURI Vol.86 No.2 (2017)
Cover photo of OYO BUTURI Vol.86 No.2 (2017)

ナノメカニカル膜型表面応カセンサ(Membrane-type Surface stress Sensor: MSS).検体分子が吸着・脱離する際に生じる応力を電気的に検出する.独特の構造により,超高感度と超小型の両立に成功.感応膜(Receptor Layer)として有機・無機・生体など多様な材料を利用可能であり,液中・気中を問わず使用可能.特に次世代嗅覚IoTセンサ素子としての応用が期待される.(p.127参照)

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