8. プラズマエレクトロニクス

18a-ZB - 1～11

• 1多重周波数マイクロ波によるECRプラズマ生成とビームプロファイル制御阪大院工 ^○坂本直樹，加藤裕史，佐藤文信，飯田敏行
• 2 パルスモードマイクロ波によるECRイオン源プラズマ生成時のプラズマパラメータ及びイオンビーム測定阪大院工 ^○平井嘉晃，坂本直樹，加藤裕史，佐藤文信，飯田敏行
• 3 ECRイオン源での誘導加熱方式による高融点材料の高純度蒸発源開発阪大院工¹，放医研²，東洋大工^{3 ○}九津見修¹，加藤裕史¹，北川敦志²，村松正幸²，内田貴司³，吉田善一³，佐藤文信¹，飯田敏行¹
• 4 ECRイオン源におけるカーボンロスフラーレンイオンの制御東洋大工¹，立山マシン²，放医研^{3 ○}峰崎英和¹，内田貴司¹，田中清勝²，村松正幸³，浅地豊久²，吉田善一¹
• 5 電子サイクロトロン共鳴イオン源による鉄多価イオン生成立山マシン¹，東洋大工²，放医研³，ATOMKI⁴，阪大院工^{5 ○}浅地豊久¹，内田貴司²，峰崎英和²，高山　翼²，田中清勝¹，内山英史¹，村松正幸³，Sandor Biri⁴，北川敦志³，加藤祐史⁵，吉田善一²
• 6 イオン注入法による鉄内包フラーレンの生成東洋大¹，立山マシン²，放医研³，ATOMKI⁴，阪大院工^{5 ○}内田貴司¹，峰崎英和¹，高山　翼¹，田中清勝²，村松正幸³，浅地豊久²，Biri Sandor⁴，北川敦志³，加藤裕史⁵，吉田善一¹
•  休憩　11:00～11:15
• 7 ガスミキシング法を用いたがん治療装置用小型ECRイオン源のビーム強度増強放医研 ^○村松正幸，北川敦志，Arne Drentje
• 8 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成(III)東海大学院工¹，東海大学情報理工^{2 ○}木村康人¹，増田哲也²，矢吹和輝²，柴田林太郎²，進藤春雄^1,2
• 9 高圧力マイクロ波プラズマ生成におけるホロー効果中部大工¹，名産研^{2 ○}太田　習¹，梁　以資¹，加藤公孝²，中村圭二¹，菅井秀郎¹
• 10 リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマ生成佐大理工 ^○大津康徳，浦崎浩史，三沢達也，藤田寛治
• 11 容量放電におけるRF電圧不均一性の効果東京エレクトロン ^○大下辰郎，松隈正明，康　松潤，沢田郁夫
•  昼食　12:30～13:30

18p-ZB - 1～18

• 1 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）
  スロットアンテナからの放射電界に関する数値解析神戸大院工 ^○辻　晃弘，八坂保能，竹野裕正
• 2 マイクロストリップ型プラズマデバイスにおける低気圧でのマイクロ波伝搬特性に関する数値解析東大新領域 ^○（DC）ドンミン キム，大崎博之
• 3 PIC/MCC モデルを用いた超小型誘導結合型プラズマ源の数値解析京大院工 ^○鷹尾祥典，江利口浩二，斧　高一
• 4 大気圧酸素中における誘電体バリア放電のシミュレーション防衛大応物¹，防衛大応物^{2 ○}高橋　剛¹，明石治朗²
• 5 中真空プロセス用ガスプラズマガンの開発豊橋技術科学大学¹，伊藤光学工業²，オンワード技研³，日立ツール^{4 ○（M1）}柳田太一郎¹，田上英人¹，神谷雅男^1,2，須田善行¹，滝川浩史¹，瀧　　真³，長谷川祐史³，石川剛史⁴
• 6 誘電体バリア放電から大気圧マイクロホロー放電への放電遷移静大創造科技院 ^○（DC）渡辺　純，荻野明久，永津雅章
• 7 大気圧プラズマジェットにおける発光部伝搬速度阪大院工 ^○伊藤剛仁，Aurélien Raddenzati，Artabaze Shams，浜口智志
• 8 マイクロ波励起大気圧マイクロプラズマジェットの生成と診断名大工 ^○白崎智裕，津田啓志，荒巻光利，河野明廣
• 9 高エネルギー電子プラズマの生成方法及び窒素酸化物の分解への応用阪大院工　原子分子センター ^○吉田卓史，弓井孝佳，木村憲明
•  休憩　15:45～16:00
• 10 大気圧プラズマによるポリカーボネートの表面改質名工大¹，中部大工^{2 ○}粕谷幹俊¹，安井晋示¹，中田鉄兵¹，野田三喜男²
• 11 非平衡大気圧リモートプラズマによる有機材料表面の撥水化プロセス(III)名大院¹，積水化学工業^{2 ○}乾　裕俊¹，屋良卓也²，上原　剛²，竹田圭吾¹，関根　誠¹，堀　　勝¹
• 12 直径100μm金属パイプ電極を用いた大気圧マイクロプラズマによるポリイミドフィルムの局所エッチング鶴岡高専 ^○吉木宏之
• 13 粉体のマイクロ波加熱で発生する大気圧プラズマの形成過程中部大工¹，核融合研^{2 ○（P）}松原章浩¹，中山和也¹，岡島茂樹¹，佐藤元泰²
• 14 電解質溶液陰極放電のプラズマ-液体界面の熱の影響首都大院理工¹，東工大院理工^{2 ○}白井直機¹，一之瀬工資¹，橋爪裕介¹，岩本直己¹，内田　諭¹，杤久保文嘉¹，石井彰三²
• 15 ソリューションプラズマ形成における安定化因子名大院工¹，名大エコトピア²，CREST/JST^{3 ○}稗田純子¹，藤川理大¹，齋藤永宏^2,3，高井　治^1,3
• 16 液相アーク放電によるキシレンからのカーボンナノチューブ合成においてアークプラズマの特性が合成物へ与える影響東京理科大学 ^○木津たきお，相川慎也，西川英一
• 17 プラズマ液体プロセスにおける液中イオン・ラジカル生成機構阪大工¹，阪大理²，大阪産技研³，東北大工⁴，関西大工^{5 ○}北野勝久¹，米森星矢¹，谷　篤史²，井川　聡³，大西直文⁴，荒川隆一⁵，浜口智志¹
• 18 プラズマ液体プロセスにおける液中イオン・ラジカル拡散の数値解析東北大工¹，阪大工²，阪大理³，大阪産技研^{4 ○}大西直文¹，北野勝久²，谷　篤史³，井川　聡⁴