8. プラズマエレクトロニクス

8 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演「プラズマサイエンスに基づくものづくりを語る」

3月19日　13:00～14:00　　会場：6号-ZG

19p-ZG - 1～2

  • 1 「分科内招待講演」（30分）
    各種プラズマ応用に必要なプラズマ制御    東北大（名誉教授） ○佐藤徳芳
  • 2 「分科内招待講演」（30分）
    薄膜シリコン系材料におけるプラズマプロセスの理解と制御    阪大基礎工 ○松田彰久，傍島　靖，岡本博明