7. ビーム応用

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• 1真空パックを利用した簡易光ナノインプリントII群馬大院工 ^○（M2）安藤哲也，高木和也，野口克也，伊藤和男
• 2 熱ナノインプリントによるTiO₂膜へのパターン転写大府大工¹，ローム²，沖セミ^{3 ○}穂藤規人¹，渡辺　実^2,3，川田博昭¹，平井義彦¹
• 3 PDMSモールドを用いたUV-NILによるアスペクト比ピラー構造の作製近大生物理工¹，府大電物^{2 ○}西野朋季¹，阪本隼志²，川田博昭²，水谷勝巳¹，平井義彦²
• 4 PDMSモールドを用いたナノインプリントによるFIB-CVD３次元構造物の複製兵県大¹，CREST-JST²，JSPS^{3 ○（M1）}姜　有志^1,2，中井康喜^1,2，岡田　真^1,2,3，神田一浩^1,2，春山雄一^1,2，松井真二^1,2
• 5 溶剤溶解型レジストによる金属リフトオフUV-NIL阪府大院工¹，ダイセル化学工業² 藤井謙順¹，鈴木亮佑¹，三宅弘人²，湯川隆行²，阪本隼志¹，川田博昭¹，^○平井義彦¹
• 6 CYTOPテンプレートを用いた金属パターン移植大阪府大工¹，JST CREST^{2 ○}原　健吾¹，久保知士¹，川田博昭^1,2，安田雅昭^1,2，平井義彦^1,2
• 7 パターニングした硬化SU8上への低温金属パターン移植大阪府大工¹，JST CREST^{2 ○}久保知士¹，原　健吾¹，川田博昭^1,2，安田雅昭^1,2，平井義彦^1,2
•  休憩　15:45～16:00
• 8 ナノインプリントプロセスによるアノードエッチングサイトの制御首都大都市環境¹，神奈川科学技術アカデミー² 柳下　崇^1,2，^○成山哲平¹，西尾和之^1,2，益田秀樹^1,2
• 9 ポーラスアルミナを用いたナノインプリント法による単分散微粒子の形成首都大都市環境¹，神奈川科学技術アカデミー^{2 ○}柳下　崇^1,2，西尾和之^1,2，益田秀樹^1,2
• 10 熱アシスト射出成形による高アスペクト比ナノ構造の転写東大工 ^○長藤圭介，服部俊太郎，光田健洋，濱口哲也，中尾政之
• 11 繰返しローラインプリントを用いた積層ナノ構造の製造東大工 ^○長藤圭介，杉本俊太郎，濱口哲也，中尾政之
• 12 テフロンPFA中空ファイバーへのローラーインプリントBEANSプロジェクト¹，産総研²，並木精密宝石^{3 ○}銘苅春隆^1,2，高橋正春^1,2，福島絵理³
• 13 角型石英ガラスファイバー表面への熱インプリントBEANSプロジェクト¹，産総研^{2 ○}銘苅春隆^1,2，奥山千枝子²，上野昭久^1,2，高橋正春^1,2

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• 1電界印加ナノインプリントを指向した酸化膜生成の基礎検討弘前大学 ^○佐藤　嵩，福田　眞，峯田　貴
• 2 ポストキュアを用いたレプリカモールドの離型性の向上早稲田大学¹，旭硝子^{2 ○（B）}李　凌義¹，川口泰秀²，角崎健太郎²，水野　潤¹，庄子習一¹
• 3 残膜除去プロセスによるポリ（スチレン）薄膜内部の親水化東北大多元研 ^○久保祥一，佐藤祐子，中川　勝
• 4 高感度紫外可視分光法によるフッ素含有吸着単分子膜への光硬化樹脂の付着の検討東北大多元研¹，JST-CREST^{2 ○}是永宗祐¹，鴻野晃洋¹，久保祥一¹，中川　勝^1,2
• 5 UV-NIL用蛍光レジストによるモールド表面への樹脂付着の検出東北大多元研¹，JST-CREST²，東洋合成工業³，兵庫県大高度研^{4 ○}小林　敬^1,2，久保祥一¹，坂井信支³，松井真二^2,4，中川　勝^1,2
• 6 有効媒質近似を用いたＤＴＭパターン形状計測技術日立（生研）¹，日立ＨＴファイン事^{2 ○}廣瀬丈師¹，笹澤秀明¹，芹川　滋²，堀江聖岳²
•  休憩　10:30～10:45
• 7 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）
  スピンコートされた光ナノインプリント樹脂のペンタフロオロプロパン中における粘度特性産業技術総合研究所¹，東京理科大学²，JST-CREST^{3 ○（M2）}跡部英正^1,2,3，廣島　洋^1,3，王　　清^1,3
• 8 UV-NILレジストの硬化特性評価阪府大工¹，リソテック²，東洋合成³，JST-CREST^{4 ○（B）}鈴木亮佑¹，藤井謙順^1,4，関口　淳²，坂井信支³，田中理沙³，川田博昭^1,4，平井義彦^1,4
• 9 走査型プローブ顕微鏡を用いたその場UV照射による光ナノインプリントレジスト評価兵県大大学院¹，SIIナノテクノロジー²，ダイセル化学工業³，東洋合成工業⁴，JST-CREST⁵，JSPS^{6 ○（D）}岡田　真^1,5,6，岩佐真行²，三宅弘人³，坂井信支⁴，春山雄一^1,5，神田一浩^1,5，松井真二^1,5
• 10 フッ素含有離型剤の耐熱性評価兵庫県立大¹，JSP-CREST²，JSPS^{3 ○}中井康喜^1,2，大本慎也^1,2，姜　有志^1,2,，岡田　真^1,2,3，春山雄一^1,2，神田一浩^1,2，松井真二^1,2
• 11 蛍光色素含有高分子による熱ナノインプリント成型時の可塑化効果の可視化東北大多元研 ^○佐藤祐子，久保祥一，中川　勝
• 12 ナノインプリント法におけるポリマー充填挙動の分子動力学解析(II)大阪府大院工¹，JST-CREST^{2 ○}多賀章博^1,2，柴田真由子^1,2，安田雅昭^1,2，川田博昭^1,2，平井義彦^1,2
• 13 UVナノインプリントのシミュレーションシステム大阪府立大　工¹，JST-CREST² 柴田真由子^1,2，長岡義矩^1,2，松江雅人^1,2，堀場日明¹，川田博昭^1,2，安田雅昭^1,2，^○平井義彦^1,2