2．計測・制御

19p-P12 - 1～24

• 1 電子デバイス製造プロセスの統計的監視手法Ｉ　～管理限界の自動設定～芝浦工大¹，東大²，東芝^{3 ○}久保智彰^1,3，南　正輝²，本間哲哉¹
• 2 電子デバイス製造プロセスの統計的監視手法II　～基準データからの外れ値自動除去～芝浦工大¹，東大²，東芝^{3 ○}久保智彰^1,3，南　正輝²，本間哲哉¹
• 3 生物発光反応系の絶対発光量子収率測定産総研 丹羽一樹，^○市野善朗，近江谷克裕
• 4 可視ATRによる薄膜の増強蛍光分光測定西進商事¹，福島高専²，茨城高専^{3 ○}北見忠昭¹，豊島　晋²，丸山智章³，若松　孝³
• 5 Webカメラを用いた簡易型ビームプロファイラー神戸大分子フォト¹，神戸大研究環² 高島月子¹，冬木正紀²，^○和田昭英¹
• 6 分光光学系分光効率の偏光依存性評価　-紫外・真空紫外域での新たな試み-産総研計測標準 ^○座間達也，齊藤一朗
• 7 光パワーメータ直線性の波長依存性とその不確かさの検討産総研計測標準 ^○雨宮邦招，福田大治，沼田孝之，座間達也
• 8 角度の分離を可能とする層間変位センサの開発早大理工¹，早大ナノテクノロジー研究所²，足工大工³，鹿島技研^{4 ○}松谷　巌¹，佐藤摩弥¹，冨士良太¹，金川　清²，仁田佳宏³，畑田朋彦⁴，片村立太⁴，谷井孝至¹，庄子習一¹，西谷　章¹，大泊　巌¹
• 9 ボールレンズを利用した小型高分解能傾斜計の開発（II）早大理工¹，早大ナノテク研究所²，足工大³，鹿島技術研究所^{4 ○}冨士良太¹，松谷　巌¹，金川　清²，仁田佳宏³，畑田朋彦⁴，片村立太⁴，谷井孝至¹，庄子習一¹，西谷　章¹，大泊　巌¹，佐藤摩弥¹
• 10 比熱と熱伝導率を同時に計測する新しい方法防大機能材料¹，茨大工^{2 ○}岡本庸一¹，岡田　遼²，根本高志²，太田弘道²，滝口裕章¹
• 11 水素吸蔵合金の反応熱を利用した水素ガスセンサの検討東洋大理工 ^○相沢宏明，早乙女剛，能村啓志，勝亦　徹，小室修二
• 12 蛍光温度センサの安定性評価東洋大理工 ^○勝亦　徹，相沢宏明，小室修二
• 13 液滴振動式接触角測定装置SAW&SPR-Tech ^○塩川祥子，松井義和
• 14 有機物を用いたグラファイト薄膜の作製2東理大理 ^○池上景一，原子　進，趙　新為
• 15 Mn添加酸化亜鉛薄膜の磁気特性2東理大理¹，東洋大工²，JAEA^{3 ○}石渡崇二¹，金城寿音¹，原子　進¹，小室修二²，平尾法恵³，趙　新為¹
• 16 MOD法を用いたMgO薄膜の表面ポテンシャル評価龍谷大¹，兵庫工技セ²，理研計器³，東大^{4 ○}山本伸一¹，吉岡秀樹²，中島嘉之³，長谷川修司⁴
• 17 単一CMOS発振器によるアルコール摂取検知の基礎的検討（１）ORDIST¹，関西大システム理工²，関西大院^{3 ○}花島健太^1,3，田村　進^1,2,3，大村泰久^1,2,3
• 18 血液脈波に対するアルコール摂取の影響の分光学的評価（３）ORDIST¹，関西大シス理工²，関西大院^{3 ○}福田幸史²，清水康弘^1,3，大村泰久^1,3
• 19 応力発光薄膜を用いて超音波パワー分布の直接可視化九大¹，産総研九州センター²，CREST,JST^{3 ○（D）}天卓 ジャン¹，徐　超男^1,2,3，福田　修²，山田浩志^1,2，李シンシュウ¹
• 20 光励振・検出型　光ファイバ伝送センシングシステム金沢工業大学 ^○岩岡秀人
• 21 マルチPOF 型水分センサの相対間隔を考慮した無発声連続母音認識山梨大院医工 ^○（M2）シルビア ウタミ，横森治幸，佃　知治，本間　聡，森澤正之，武藤真三
• 22 遠心操作による繊維状イオン交換膜への影響阪大院工¹，ニチビ^{2 ○}大西将功¹，大見剛史¹，青木秀充¹，粂田和弘²，畑　康人²，木村千春¹，杉野　隆¹
• 23 繊維状イオン交換膜を用いた牛乳中の乳酸濃度検知阪大院工¹，ニチビ^{2 ○}大見剛史¹，大西将功¹，青木秀充¹，粂田和弘²，畑　康人²，木村千春¹，杉野　隆¹
• 24 摩擦駆動型圧電アクチュエータの周波数可変駆動による高効率駆動熊大院自¹，熊大工²，PMT^{3 ○}宗　勇樹¹，加来卓也²，小坂光二³，久保田弘¹