シンポジウム
15p-F10 - 1〜9
- 1はじめに(10分)宮崎大IRO ○鈴木秀俊
- 2元素及び化合物半導体の格子歪と欠陥(40分)九州大学応力研 ○柿本浩一,Bing Gao,中野 智,寒川義裕
- 3半導体材料局所領域における微細構造・歪のX線マイクロ回折評価(25分)阪大院基礎工1,高輝度光科学研究セ2 ○酒井 朗1,吉川 純1,中村芳明1,今井康彦2,坂田修身2,木村 滋2
- 4ナノひずみ制御による超高密度InAs量子ドットの自己形成とそのデバイス応用(25分)電通大院情報理工 ○山口浩一
- 5半導体薄膜結晶のひずみを観る(25分)九大産学連携センター1,九大総理工2 ○桑野範之1,桑原崇彰2
- 休憩 15:05〜15:20
- 6半導体とひずみ(40分)金沢工大 ○上田 修
- 7X線ベリー位相効果を用いた新しい微小歪み評価法(25分)理研SPring-8センター ○香村芳樹,澤田 桂,石川哲也
- 8放射光を用いたナノひずみのその場測定と制御(25分)原子力機構 ○高橋正光
- 9透過型電子顕微鏡を用いた半導体デバイスの解析(25分)日本電子 ○遠藤徳明,奥西栄治,近藤行人