8. プラズマエレクトロニクス

17p-B8 - 1〜8

• 1単層カーボンナノチューブ高速合成のためのアークプラズマの分光診断名城大理工¹，名大院工^{2 ○}安藤　睦¹，太田貴之¹，伊藤昌文¹，鈴木智子¹，井上　栄¹，安藤義則¹，平松美根男¹，堀　　勝²
• 2ダストの生成に対する熱流束の影響とダストフラックスの制御九大¹，核融合科学研究所²，キール大^{3 ○}西山雄士¹，森田康彦¹，山下大輔¹，鎌滝晋礼¹，内田儀一郎¹，徐　鉉雄¹，古閑一憲¹，白谷正治¹，芦川直子²，Bornholdt Sven³，板垣奈穂¹，増崎　貴²，西村清彦²，相良明男²，Holger Kersten³
• 3スパイラルアンテナを用いたマルチ共振型マイクロ波共振器プローブの小型化中部大工 ^○中村圭二，熊崎恵未，菅井秀郎
• 4新エミッシブプローブ法による電子エネルギー分布関数測定東海大 ^○谷内康行，進藤春雄
• 5新エミッシブプローブ法による高周波プラズマ診断東海大 ^○山田利宜，谷内康行，内海倫明，磯村雅夫，進藤春雄
• 6水晶振動子センサー計測による窒素‐水素プラズマ中でのアンモニア生成メカニズム産総研¹，島根産技センター^{2 ○}鈴木　淳¹，朝比奈秀一²
• 7CF₄, C₃F₈, CHF₃, CH₄, C₂H₂プラズマ下流域における中性化学種のLi⁺付着質量分析九州大院総理工 ^○古屋謙治，川原嗣史，坂井麻希子，津奈木省吾，鶴川翔太，玉井裕二，白山靖之，井手章博，奥村洋史，原田　明
• 8パルスマグネトロンスパッタ法で発生したプラズマの飛行時間型質量分析装置による解析と蒸着膜の相関東北大院理¹，東北大理²，アヤボ^{3 ○（M1）}田村哲郎¹，松崎浩美²，小安喜一郎¹，山本宏晃³，石原太樹³，塚本恵三^1,3，美齊津文典¹
•  休憩　15:15～15:30
•  9〜20　15:30〜18:45（8.3 プラズマ成膜･表面処理）

18a-A7 - 1〜11

• 1深紫外吸収分光法による大気圧プラズマ診断京大院工 ^○平岡　悠，占部継一郎，酒井　道
• 2シュタルク分光を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間分解計測名大工¹，金大サステナブル研²，名大プラズマナノ研^{3 ○}村瀬卓也¹，石島達夫²，豊田浩孝^1,3
• 3誘導放電窒素プラズマアフターグロー中のA³Σ_u⁺状態窒素分子密度の損失時定数北大工¹，名大プラズマナノ^{2 ○（D）}堀川佳峰¹，林　俊雄²，佐々木浩一¹
• 4吸収飽和を用いた二段吸収分光法の実験的検証静大工院¹，静大工^{2 ○（M1）}桑原　彬¹，松井　信²，山極芳樹²
• 5飽和吸収分光計測による水素原子バルマーアルファ線のゼーマン分裂スペクトル北大院工¹，核融合研²，ヨゼフフーリエ大学グルノーブル校^{3 ○}西山修輔¹，後藤基志²，Nader Sadeght³，佐々木浩一¹
•  休憩　10:15～10:30
• 6光周波数コム干渉分光法の開発とプラズマ診断京大院工 ^○（D）占部継一郎，酒井　道
• 7Analysis of organic pollutant degradation in pulsed plasma by Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy名大エコ¹，名大グリーンモビリティ^{2 ○}Maria Bratescu¹，上野智永²，是津信行²，高井　治¹，齋藤永宏^1,2
• 8光干渉計を用いたカーボンナノウォール/Si基板の基板温度計測名大院工¹，名城大理工²，和歌山大シス工^{3 ○}平岡丈弘¹，夏目将利²，加藤寛人²，堤　隆嘉³，太田貴之²，伊藤昌文²，竹田圭吾¹，近藤博基¹，堀　　勝¹
• 9プラズマボールスペクトロスコピーによる金属粉末計測イマジニアリング 池田裕二，^○寉岡亮治
• 10誘導結合HBrプラズマにおける高エネルギー電子の空間分布評価名大工¹，金大²，名大工^{3 ○}大池　匠¹，石島達夫²，豊田浩孝^1,3
• 11AEセンサ内蔵ウエハステージによる異常放電の検出産総研¹，クリエイティブテクノロジー²，崇城大工³，ルネサスセミコンダクタ九州・山口^{4 ○}笠嶋悠司¹，田原竜夫¹，小林由和²，八坂三夫³，山口信介⁴，秋山守人¹，上杉文彦¹