8. プラズマエレクトロニクス

16a-A7 - 1〜5

• 1ＥＣＲ加熱プラズマによる多価イオンの生成における二重周波数の依存性放医研¹，AEC^{2 ○}北川敦志¹，村松正幸¹，佐久間哲也²，高杉　渉²
• 2多重周波数マイクロ波を用いた大口径ＥＣＲイオン源内のプラズマパラメータ制御とイオンビームプロファイル制御阪大院工¹，阪大工^{2 ○（M1）}野崎　大¹，栗栖庸輔¹，桐山隆太郎¹，武仲朋也¹，矢野慧介²，佐藤文信¹，加藤裕史¹，飯田敏行¹
• 3大口径ECRイオン源における可動プレートチューナーによるマイクロ波モードの変化について阪大院工¹，阪大工^{2 ○（M1）}栗栖庸輔¹，桐山隆太郎¹，武仲朋也¹，野崎　大¹，矢野慧介²，佐藤文信¹，加藤裕史¹，飯田敏行¹
• 4パルスモードマイクロ波によるECRイオン源のプラズマパラメータとビーム電流の時間発展阪大院工 ^○桐山隆太郎，栗栖庸輔，野崎　大，武仲朋也，矢野慧介，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行
• 5ECR イオン源での誘導加熱式高純度鉄蒸発源における蒸気圧制御阪大院工¹，放医研²，東洋大工^{3 ○}武仲朋也¹，桐山隆太郎¹，栗栖庸輔¹，野崎　大¹，矢野慧介¹，北川敦志²，村松正幸²，内田貴司³，吉田善一³，佐藤文信¹，加藤裕史¹，飯田敏行¹

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• 1真空紫外吸収分光計測用コンパクトマイクロ波プラズマ光源の開発静大創造科技院¹，北大院工^{2 ○（D）}Xijiang Chang¹，津村　駿¹，荻野明久¹，佐々木浩一²，永津雅章¹
• 2プラズマアクチュエータを用いた高圧力・均一プラズマ源阪大三井造船共同講座 ^○中島義晴，星島一輝，木村憲明
• 3回転磁場を用いた誘導結合プラズマの電子エネルギー制御手法大阪大工¹，日本原研^{2 ○}近藤崇博¹，太田雅之²，岡田成文¹
• 4高誘電率放電管による表面波プラズマアフターグローの生成東海大工 ^○時枝孝典，関根温志，谷内康行，内海倫明，進藤春雄
• 53次元ハイブリッドPIC/MC法によるRPD装置内プラズマシミュレーション住重技研¹，東京大工^{2 ○}宮下　大¹，北見尚久¹，酒見俊之¹，青木　康¹，加藤隆典¹，荒川義博²
• 6Arガスを用いた容量結合型RF放電のプローブ測定とシミュレーションの比較II広国院大工 ^○久保　隆
• 7ウェイブ・デジタルフィルタの手法を用いたプラズマの各シミュレート特性防大通信 ^○下川邊正史，宇都宮俊男
• 8水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜における成膜速度の向上効果名大院工¹，JST-CREST^{2 ○（M1）}陸　　雅¹，福島敦史¹，阿部祐介¹，金　淵俊¹，竹田圭吾^1,2，石川健治¹，近藤博基¹，関根　誠^1,2，堀　　勝^1,2
• 9原子内包フラーレン生成用ECRイオン源装置の開発II東洋大¹，ATOMKI²，放医研³，阪大院工^{4 ○}内田貴司¹，大島康輔¹，峰崎英和¹，Richard Racz²，Sandor Biri²，村松正幸³，北川敦志³，加藤裕史⁴，吉田善一¹
• 10イオン注入法による鉄内包フラーレンの生成 (第III報)東洋大¹，放医研²，立山マシン³，阪大院工⁴，ATOMKI^{5 ○}峰崎英和¹，大島康輔¹，内田貴司¹，村松正幸²，浅地豊久³，北川敦志²，加藤裕史⁴，Biri Sandor⁵，吉田善一¹
• 11フラーレン蒸気への低速Xeイオンビーム照射東洋大¹，放医研²，立山マシン³，阪大院工⁴，ATOMKI^{5 ○}大島康輔¹，峰崎英和¹，内田貴司¹，村松正幸²，浅地豊久³，北川敦志²，加藤裕史⁴，Sandor Biri⁵，吉田善一¹
•  休憩　16:00〜16:15
• 12地球軌道間輸送機用アークジェットエンジンの基礎実験静岡大・理 ^○三重野哲，奥谷　翔，田添　昴，西丸直蔵
• 13グライディングアーク放電の流量依存性と非平衡状態への遷移魁半導体 北川貴之，山崎光生，^○田口貢士
• 14アルゴンガス中ジェット型誘電体バリア放電のガス組成制御によるグロー状放電生成と分光診断(III)京大院工 ^○山田慶太郎，占部継一郎，酒井　道
• 15微細希ガス流を用いた大気圧グロー放電のガス流と放電特性の関係首都大東京理工 ^○吉田拓真，白井直機，内田　諭，杤久保文嘉
• 16水‐誘電体多層電極を用いた大気圧プラズマ佐賀大工 ^○三沢達也，山本恵一，秋吉雄介，林　信哉
• 17古典分子動力学法によるプラズマから液体表面への重粒子照射の評価(II)首都大理工 ^○伊藤大祐，皆川優大，白井直機，内田　諭，杤久保文嘉
• 18大気圧グロー放電を電極とした電解反応におけるＯＨラジカル生成の評価首都大理工 ^○安藤佑次郎，白井直機，内田　諭，杤久保文嘉
• 19ラジカルジェットにより液中に誘起されるラジカル種の診断阪大理¹，阪大工²，大阪産技研^{3 ○}谷　篤史¹，大野友輔²，福井　智¹，井川　聡³，北野勝久²
• 20液中気泡内における水蒸気とマイクロ波プラズマの相互作用名大工¹，金大²，名大工^{3 ○}鈴木陽香¹，石島達夫²，豊田浩孝^{1, 3}
• 21プラズマ・マイクロバブルを用いたインジゴカルミン水溶液の脱色鶴岡高専¹，石川商店^{2 ○}吉木宏之¹，奥田航紀¹，佐藤一誠¹，石川修一²，矢作友弘¹，瀬川　透¹