7. ビーム応用

18a-B6 - 1〜7

• 1Si添加高水素DLC膜への原子状酸素照射による保護膜形成過程の衝突エネルギー依存神戸大¹，原子力機構^{2 ○}田川雅人¹，横田久美子¹，吉越章隆²，寺岡有殿²
• 2レーザーデトネーション法による超音速混合原子ビームの形成神戸大 ^○横田久美子，安田　茂，水谷　朗，田川雅人
• 3超音速酸素分子線の並進運動エネルギーで誘起されるNi(111)表面酸化反応における酸化状態の放射光光電子分光解析原子力機構¹，兵庫県立大院^{2 ○}井上敬介^1,2，寺岡有殿^1,2
• 4N₂運動エネルギー誘起Al(111)窒化におけるインキュベーション時間の623 K以下での表面温度依存性原子力機構¹，兵庫県立大院物質理²，東北大多元研^{3 ○}神農宗徹^1,2，寺岡有殿^1,2，高岡　毅³，吉越章隆²，米田忠弘³
•  休憩　10:00〜10:15
• 5反応性ガス雰囲気中GCIB照射によるCu膜エッチング兵庫県立大工¹，東京エレクトロン^{2 ○}豊田紀章¹，須田貴則¹，原　謙一²，山田　公¹
• 6ZnO及びGaN表面でのMeV炭素イオン散乱東洋大理工¹，原子力機構高崎^{2 ○}本橋健次¹，齋藤勇一²，宮脇信正²
• 7FIB-CVDの下方成長を利用した三次元ナノ構造の作製東大工 ^○（D）郭　登極，米谷玲皇，割澤伸一，石原　直
•  8〜9　11:00〜11:30（7.8 ビーム応用一般・新技術）