7. ビーム応用

7.4 ナノインプリント

3月18日　9:00〜15:00　　会場：A2

18a-A2 - 1〜11

  • 1熱ナノインプリントにおけるフッ素液体の滴下効果産総研 ○銘苅春隆，廣島　洋
  • 2ナノインプリントによるダブルパターニングプロセス兵県大院1，ダイセル2，明昌機工3，JST-CREST4，JSPS5 ○岡田　真1,4,5，三宅弘人2，湯川隆生2，利根克彦3，片瀬徹也3，伊吉就三1,4，春山雄一1,4，松井真二1,4
  • 3ゲル-ナノインプリントによる短時間パターニング法の開発奈良先端大1，JST-CREST2 ○荒木慎司1，張　　敏1，土江貴洋1，呂　　莉1，堀田昌宏1,2，西田貴司1,2，石河泰明1,2，浦岡行治1,2
  • 4溶融微細転写プロセスによる高アスペクト比ナノパターンの成形 -溶融樹脂粘度が転写挙動に及ぼす影響-日本製鋼所 ○内藤章弘，古木賢一，伊東　宏，焼本数利
  • 5自己組織化ブロックコポリマを用いたSelective ALD法によるSub-10nmパターン形成米国バークレー国立研1，筑波大数理物質2，物材機構MANA3 ○（P）廣芝伸哉1,2,3，Thomas Lehmann1，Brett Helms1，Dominik Stenger1，Zuwei Liu1，Ben Muddiman1，Scott Dhuey1，Bruce Harteneck1，Adam Schwartzberg1，Stefano Cabrini1，Dierdre Olynick1
  •  休憩　10:15〜10:30
  • 6溝幅縮小ドライエッチングを利用したsub-50nm-UV-NILモールドの作製日大理工1，産総研2，JST-CREST3 ○（DC）鈴木健太1,2,3，尹　成圓2,3，王　　清2,3，廣島　洋2,3，西岡泰城1
  • 7無電解Niめっきを用いた簡便なNiマスク作製プロセスの開発大府大工 ○（B）北川拓哉，川田博昭，安田雅昭，平井義彦
  • 8ナノインプリントによって作製された微細構造の機械的振動評価兵庫県立大1，CREST-JST2，JSPS3 ○（D）姜　有志1,2,3，中井康喜1,2，岡田　真1,2,3，春山雄一1,2，松井真二1,2
  • 9熱ナノインプリントにおけるレジスト中での応力解析大阪府立大工 ○塩津隆弘，堀場日明，西倉直紀，安田雅昭，川田博昭，平井義彦
  • 10光ナノインプリントにおける硬化樹脂‐離型層界面のせん断特性東北大多元研1，JST-CREST2 ○遠藤彩子1，小林　敬1，中川　勝1,2
  • 11AFMによる樹脂粘性の膜厚，温度依存性の測定ワルシャワ工科大1，大阪府大院工2，JST-CREST3 Dariusz Jarzabek1，堀場日明2,3，川田博昭2,3，○平井義彦2,3，Rymuza Zygmunt1
  •  昼食　12:00〜13:00

18p-A2 - 1〜8

  • 1フルオロアルキル含有アクリレートの添加による光硬化樹脂の表面自由エネルギーの低下東北大多元研1，JST-CREST2 ○伊東駿也1，尹　哲民1,2，小林　敬1，中川　勝1,2
  • 2AFMによる樹脂-モールド材料間の摩擦，凝着力のラフネス依存性評価ワルシャワ工科大1，大阪府大院工2，JST-CREST3 Lukasz Ocypa1，西野朋季2.3，川田博昭2,3，○平井義彦2,3，Zygmunt Rymuza1
  • 3破壊力学に基づく離型メカニズムの考察大阪府大院工　1，JST-CREST2 ○西野朋季1,2，川田博昭1,2，平井義彦1,2
  • 4インプリントにおける離型力のパターンサイズ依存性大府大工1，JST CREST2 ○藤川仙大1,2，川田博昭1,2，安田雅昭1,2，平井義彦1,2
  • 5熱インプリントによる繊維状基材のパターニングBEANS研究所1，産総研2，東芝機械3 ○銘苅春隆1,2，大友明宏1,3，高木秀樹1,2，小久保光典1,3，後藤博史1,3
  • 6ポーラスアルミナを用いた射出成形によるモスアイ構造賦形レンズの一括形成首都大都市環境1，神奈川科学技術アカデミー2，オリンパス3 ○柳下　崇1,2，日高　猛3，鈴木真理3，益田秀樹1,2
  • 7ナノインプリントリソグラフィによるAgCuナノ構造の形成富山県工技セ ○丹保浩行，横山義之，坂井雄一
  • 8界面化学結合型熱ナノインプリントと電解析出により作製した 金スプリットリング構造東北大多元研1，DNP2 ○富岡辰弥1，永瀬康一1，久保祥一1，法元盛久2，中川　勝1