6. 薄膜・表面

16p-GP2 - 1〜15

• 1VDF/TeFE共重合体薄膜の構造ならびに強誘電性に対する熱処理の効果東理大理¹，小林理研^{2 ○}中川佑太¹，石井　肇¹，中嶋宇史¹，古川猛夫²，岡村総一郎¹
• 2P(VDF-TrFE)薄膜における結晶化が電気特性に及ぼす影響阪府大工 ^○谷地宣紀，吉村　武，藤村紀文
• 3P(VDF-TrFE)薄膜およびクロコン酸薄膜における強誘電性の調査九大シ情 ^○廣中陽一，池田晃裕，浅野種正
• 4La-SrTiO₃基板上に成膜されたBiFeO₃-BiCoO₃固溶体エピタキシャル薄膜の構造評価東理大¹，広大院理^{2 ○}伊藤正樹¹，曽根圭太¹，馬込栄輔²，中嶋宇史¹，岡村総一郎¹
• 5YbFe₂O₄エピタキシャル薄膜の磁気輸送特性阪府大 ^○（B）増田佑介，湯川博喜，吉村　武，芦田　淳，藤村紀文
• 6Bi_4-xLa_xTi₃O₁₂薄膜の結晶化と光学特性福岡大院・理¹，福岡大・理² 豊田忠史¹，田尻恭之²，^○香野　淳²
• 7その場レーザー光照射によるBi-Mg-Ti-O系薄膜の作製兵庫工技セ¹，阪府大院工^{2 ○}泉　宏和¹，氏本勝也²，吉村　武²，藤村紀文²
• 8ゾルゲル法による結晶性KTa_1-xNb_xO₃ 薄膜の形成情通研¹，電機大工^{2 ○（M1C）}野部裕介^1,2，山本直克¹，赤羽浩一¹，川西哲也¹，高井裕司²
• 9ZnOチャネル上へのナノギャップ電極の形成と伝導特性評価阪府大院工 ^○（M1）野村侑平，山田裕明，吉村　武，藤村紀文
• 10Epitaxial growth and properties of PLZT thin films deposited on AZO films on SrTiO₃ substrate東工大院理工 ^○ジョンミン オ，保科拓也，武田博明，鶴見敬章
• 11上部金属電極を伴った強誘電体薄膜の反射スペクトル解析東理大理¹，スタンレー電気^{2 ○}太原充啓¹，四十物孝憲²，中嶋宇史¹，安田喜昭²，岡村総一郎¹
• 12ITOバッファ層を用いたSi基板上PZT,PLZT薄膜の作製と評価金沢大院電子情報 ^○松本真輝，江渕真伍，丸山武男，飯山宏一
• 13コンビナトリアル成膜によるPZT薄膜の圧電特性の組成依存性評価京大院工¹，神大院工^{2 ○（M1）}冨岡宏平¹，横川隆司¹，神野伊策²，小寺秀俊¹
• 14強誘電体MEMS振動発電素子の試作とモデリング大阪府立大¹，大阪府立産技研^{2 ○}宮渕弘樹¹，吉村　武¹，村上修一²，藤村紀文¹
• 15ステンレス基板上PZT薄膜によるMEMS振動発電素子の作製神大院工 ^○辻浦裕一，神野伊策

17a-F5 - 1〜11

• 1｢第2回女性研究者奨励育成貢献賞（小舘香椎子賞）受賞記念講演｣（30分）
  溶液法を用いた機能性酸化物薄膜集積化デバイスの開発産総研 ^○加藤一実
• 2BaTiO₃/SrTiO₃ナノキューブ規則配列領域における電気的特性産総研¹，慶應大²，山梨大³，物材機構⁴，九州大^{5 ○（P）}三村憲一¹，加藤一実¹，今井宏明²，和田智志³，羽田　肇⁴，桑原　誠⁵
• 3引張り歪みを有する(111)エピタキシャル(Ba,Sr)TiO₃薄膜の面内および面外の誘電応答名古屋大¹，東工大²，EPFL^{3 ○}山田智明¹，多久和至²，舟窪　浩²，Alexander Kvasov³，Alexander Tagantsev³，吉野正人¹，長崎正雅¹
• 4Evaluation of Piezoelectric Properties of Al/AlN/Si Stack Structure for CMOS compatible MEMS阪府大院工¹，imec²，KU Leuven^{3 ○（DC）}氏本勝也^1,2，Cherman Vladimir²，Ingrid De Wolf^2,3，Bert Du Bois²，Simone Severi²，Madhu Jambunathan²，Devrez Karabacak²，吉村　武¹，藤村紀文¹
• 5二段階MOCVDによるZnOナノロッドの作製と強誘電体ナノロッドへの応用兵庫県大・工 ^○小林千晃，伊美泰徳，藤沢浩訓，中嶋誠二，清水　勝
•  休憩　10:30〜10:45
• 6200mmウエハ対応自動ゾルゲル装置によるPZT薄膜の形成産総研¹，大日本印刷^{2 ○}小林　健¹，瓜生敏史²，牧本なつみ¹，伊藤寿浩¹，前田龍太郎¹
• 7ナノシート界面層を利用したPb(Zr,Ti)O₃薄膜の選択配向成長上智大理工¹，東工大物創² 峰村佳輝¹，近藤陽太¹，安井伸太郎²，舟窪　浩²，^○内田　寛¹
• 8CaF₂基板上の作製したエピタキシャルPb(Zr,Ti)O₃膜の結晶構造および強誘電特性のZr/(Zr+Ti)比依存性東工大¹，ブルカーAXS²，名大^{3 ○}江原祥隆¹，安井伸太郎¹，森岡　仁²，山田智明³，舟窪　浩¹
• 9電界印加に伴うPb(Zr,Ti)O₃膜の結晶構造変化の解析東工大¹，理科大²，防衛大³，産総研⁴，ブルカーAXS^{5 ○}和田亜由美¹，江原祥隆¹，安井伸太郎¹，中島光雅¹，和田芽句¹，谷口博基¹，伊藤　満¹，岡村総一郎²，西田　謙³，山本　孝³，和田亜由美¹，江原祥隆¹，安井伸太郎¹，中島光雅¹，和田芽句¹，谷口博基¹，伊藤　満¹，岡村総一郎²，西田　謙³，山本　孝³，小林　健⁴，森岡　仁⁵，舟窪　浩¹
• 10強誘電体薄膜におけるリーク電流の時間緩和に関する研究東理大・理¹，スタンレー電気^{2 ○}峰島達幸¹，四十物孝憲²，中嶋宇史¹，安田喜昭²，岡村総一郎¹
• 11AFMを用いたPbTiO₃ナノ島の分極量の評価兵庫県大工 ^○井川将志，山田耕生，中嶋誠二，藤沢浩訓，清水　勝

18a-F5 - 1〜11

• 1｢講演奨励賞受賞記念講演｣（15分）
  パルスレーザ堆積法で形成した(Ag_1-xLi_x)NbO₃薄膜の特性評価龍大理工 ^○山添誠司，山本　優，和田隆博
• 2電場印加による(Na,Li)NbO₃薄膜の特異な強誘電特性挙動に関する研究龍谷大 ^○（M1）小堀晃弘，山添誠司，和田隆博
• 3水熱合成エピタキシャル(K_0.5Na_0.5)NbO₃膜のアニール温度依存東工大¹，桐蔭横浜大²，上智大³，リガク^{4 ○}白石貴久¹，石河睦生^1,2，安井伸太郎¹，黒澤　実¹，内田　寛³，平山泰生⁴，舟窪　浩¹
• 4CaZrO₃固溶量がMnドープ(K,Na)NbO₃-CaZrO₃薄膜の電気的特性に及ぼす影響名大エコトトピア研¹，産総研つくば^{2 ○}坂本　渉¹，松田　巧¹，Bong-Yeon Lee²，守谷　誠¹，飯島高志²，余語利信¹
• 5強誘電性PVDF薄膜の結晶化に及ぼす基板の効果東理大理 ^○森本崇史，中嶋宇史，岡村総一郎
• 6フッ化ビニリデン系高分子強誘電体薄膜の高速分極反転特性東理大理¹，小林理研^{2 ○}石井　肇¹，中嶋宇史¹，高橋芳行¹，古川猛夫²，岡村総一郎¹
•  休憩　10:30〜10:45
• 7Ptナノコロイドの電子線誘起反応を用いたPt電極パターン形成に関する研究東理大理 ^○竹内良介，中嶋宇史，岡村総一郎
• 8超臨界製膜を用いたFeRAM用酸化膜電極形成東京大工 ^○鄭　珪捧，百瀬　健，霜垣幸浩
• 9強誘電体ゲートTFTにおけるチャネル形成時の分極反転伝播パナソニック先端研¹，東工大^{2 ○}金子幸広¹，西谷　雄¹，上田路人¹，徳光永輔²，藤井映志¹
• 10P(VDF-TeFE)/ZnOヘテロ構造の電子輸送特性のチャネル膜厚依存性阪府大・院工 ^○山田裕明，吉村　武，藤村紀文
• 11SrBi₄Ti₄O₁₅/CaBi₄Ti₄O₁₅ BLSD薄膜キャパシタ素子における電気的特性京工繊工芸¹，上智大理工²，東工大物創^{3 ○}田原直也¹，野村修平¹，内田　寛²，山下　馨¹，舟窪　浩³，野田　実¹
•  昼食　12:00〜13:00

18p-F5 - 1〜8

• 1PLD法で作製したBi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃膜の特性東工大¹，キヤノン^{2 ○（D）}及川貴弘¹，安井伸太郎¹，渡邉隆之²，藪田久人²，福井哲朗²，舟窪　浩¹
• 2一軸配向Bi(Zn_1/2Ti_1/2)O₃系圧電体薄膜の作製と圧電性評価東工大¹，上智大²，キヤノン^{3 ○（P）}安井伸太郎¹，及川貴弘¹，長田潤一¹，内田　寛²，渡邉隆之³，薮田久人³，三浦　薫³，黒澤　実¹，舟窪　浩¹
• 3斜方晶構造に歪んだ(Na,Bi)TiO₃-BaTiO₃エピタキシャル薄膜の巨大圧電特性パナソニック先端研 ^○田中良明，張替貴聖，上田路人，足立秀明，藤井映志
• 4RFプレーナマグネトロンスパッタ法を用いたエピタキシャルBiFeO₃薄膜の作製兵庫県大工¹，阪大院基礎工²，阪大ナノサイエンスデザイン教育研究センター^{3 ○}高田祐介¹，中川豪文¹，中嶋誠二¹，藤沢浩訓¹，小舟正文¹，朴　正敏²，金島　岳²，奥山雅則³，清水　勝¹
• 5磁場中PLD法によるエピタキシャルBiFeO₃薄膜の作製と評価阪大院基礎工¹，阪大ナノサイエンスデザイン教育研究センター²，兵庫県大工^{3 ○}Jungmin Park¹，中嶋誠二³，寒川雅之¹，金島　岳¹，奥山雅則²
• 6格子歪を用いたBiFeO₃エピタキシャル薄膜の正圧電特性の増幅阪府大院工 ^○（DC）氏本勝也，吉村　武，藤村紀文
• 7エピタキシャルBiFeO₃-CoFe₂O₄コンポジット薄膜の構造、電気、磁気特性評価東理大¹，東北大^{2 ○}曽根圭太¹，伊藤正樹¹，永沼　博²，中嶋宇史¹，岡村総一郎¹
• 8ホイスラー/強誘電体積層構造のマルチフェロイック特性名大 小林耕平，^○鈴木亮佑，宮脇哲也，植田研二，浅野秀文