合同セッション

合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

8月30日　9:00〜18:15　　会場：地域3-E

30a-E - 1〜15

  • 1高架型コプレーナ伝送線路と一体化したRF MEMSスイッチNTT MI研 ○桑原　啓，高河原和彦，森村浩季，佐藤康博
  • 2超小型バッテリレスセンサノードのためのサブナノワット振動検出原理NTT MI研 ○島村俊重，森村浩季，宇賀神守，武藤伸一郎，原田　充
  • 3超小型バッテリレスセンサノードのプロトタイプと振動検出回路の評価NTT MI研 ○島村俊重，森村浩季，宇賀神守，武藤伸一郎，原田　充
  • 4MEMSマイクロミラーにおける自励発振の検討東北大μSIC1，東北大ナノメカニクス2 ○水野　純1，羽根一博2
  • 5チタン酸バリウムストロンチウム薄膜のLSI上への転写プロセスの開発東北大院工 ○森脇政仁，江刺正喜，田中秀治
  • 6LSI基板へのポリマーを用いたPZT構造の転写技術の開発東北大院工 ○松尾幸祐，江刺正喜，田中秀治
  • 7静電駆動型2次元MEMSミラーの開発デンソー ○大山浩市，西川英昭，柘植明夫，竹内幸裕，和戸弘幸
  • 8SOIウエハを用いたMEMS焦点可変ミラースキャナによる共焦点光計測東北大工 ○佐々木敬，羽根一博
  •  休憩　11:00〜11:15
  • 9XeF2ガスエッチングによるSi基板上自立GaN光導波路の製作東北大 ○（M1）関谷拓治，羽根一博，金森義明
  • 10GaN-LED光源をモノリシック集積したSi-MEMSスキャナの試作東北大1，サンケン電気2 ○（M1）太田史織1，川口博子2，岩淵昭夫2，佐々木敬1，羽根一博1
  • 11高温真空アニールによるSi深掘りエッチング面の平滑化と雰囲気ガスの影響東北大 ○佐藤裕一，金森義明，羽根一博
  • 12薄膜金属材料の疲労試験用マイクロアクチュエータ東工大院1，東工大精研2 Nastaran Tamujidi1，佐藤康平1，桜井淳平2，○秦　誠一2
  • 13RF MEMS 高可変率インダクタの形状に関する検討東工大 ○白根篤史，伊藤浩之，石原　昇，益　一哉
  • 14集積化CMOS-MEMS のための統合設計技術の検討 (2)NTTアドバンステクノロジ1，東大2，宇宙航空研究開発機構3，東工大4 ○小西敏文1，丸山智史2，松島隆明1，三田　信3，町田克之1,4，伊藤浩之4，石原　昇4，益　一哉4，藤田博之2，年吉　洋2
  • 15浮遊電極を導入した平板型マイクロプラズマ光源豊田工業大1，名大2 ○松山弘樹1，熊谷慎也1，堀　　勝2，佐々木実1
  •  昼食　13:00〜15:00

30p-E - 1〜13

  • 1細菌迅速検出用マイクロチップII ‐蛍光強度の細菌濃度依存性‐豊橋技科大1，東工大2，NTT-AT3，九大医学研究院4 勝部恭平1，辛　永式1，石田　誠1，澤田和明1，○石井　仁1，町田克之2,3，石原　昇2，益　一哉2，飯田健一郎4，齋藤光正4，藤井　潤4，吉田眞一4
  • 2液中での細胞熱計測のための真空封止型マイクロカンチレバー型熱量センサの作製と評価東北大院工 ○猪股直生，戸田雅也，小野崇人
  • 3デュアルキャリアハンドリング法を用いたイオン・光マルチモーダルセンサ豊橋技科大1，特別研究員（DC2）2，JST-CREST3 ○渡邉博人1，中澤寛一1,2，太斎文博1，石田　誠1，澤田和明1,3
  • 4イオン・蛍光マルチモーダルイメージセンサ豊橋技科大1，特別研究員(DC2)2，JST-CREST3 ○中澤寛一1,2，石田　誠1，澤田和明1,3
  • 5Niフェリチンを用いた金属誘起横方向結晶成長によるSi薄膜機械特性の向上豊田工大1，奈良先端大2，ＣＲＥＳＴ3 村瀬　弘1，宮地修輔1，○熊谷慎也1,3，山下一郎2,3，浦岡行治2,3，佐々木実1,3
  • 6グラフェンメンブレンの形状変化徳島大1，NTT物性基礎研2 ○西　勇輝1，永瀬雅夫1，日比野浩樹2，影島博之2，山口浩司2
  • 7カーボンナノファイバー探針を用いた微細トレンチ構造評価オリンパス1，名工大・院工2 ○北澤正志1，戸田明敏1，太田　亮1，座田孝児2，林　靖彦2，種村眞幸2
  • 8UVキュア処理レジストのアッシング特性豊工大工 ○（M1）冨川　崇，岩本拓也，熊谷慎也，佐々木実
  • 9光架橋したSU-8レジストの原子状水素による高速除去金沢工大 ○河野昭彦，丸岡岳志，新井　祐，山本雅史，堀邊英夫
  • 10新対向ターゲット式コンビナトリアルスパッタ成膜東工大1，FTS2，東工大精研3 ○（B）前谷卓哉1，中光　豊2，森　直哉1，桜井淳平3，秦　誠一3
  • 11新対向ターゲット式スパッタ技術のスパッタエッチングへの応用エフ・ティ・エス コーポレーション1，東工大2 ○中光　豊1,2，門倉貞夫1，秦　誠一2
  • 12高圧電性ScXAl1-XN薄膜の高温安定性デンソー1，産総研2 ○勅使河原明彦1，加納一彦1，秋山守人2
  • 13FePd磁気形状記憶合金薄膜／Si積層構造のマイクロカンチレバー形成山形大院理工1，弘前大院理工2 ○峯田　貴1，佐渡祐介2，牧野英司2，岡崎禎子2，古屋泰文2