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18. 応用物理一般
18.4 トライボロジー
9月2日 11:30〜12:00 会場:基盤3-ZJ
2a-ZJ - 10〜11
1〜9 9:00〜11:30(18.3 新技術)
10
機械接触誘起シリコンにおける光照射効果の顕微ラマン分光
機振協技研
1
,東京農工大
2
,レニショー
3
○
山口 誠
1,2
,藤塚将行
1
,上野 滋
1
,神津知己
3
,源 泰寛
3
11
SiO
2
表面におけるCeO
2
系スラリーの化学機械研磨シミュレーション
東北大院工
○
尾澤伸樹,石川宗幸,樋口祐次,久保百司