15. 結晶工学

15.8 結晶評価,ナノ不純物・結晶欠陥

9月2日 9:00〜11:15  会場:基盤2-ZA

2a-ZA - 1〜9

  • 1チョクラルスキーシリコン中の原子空孔の形成エネルギー東北大1,ゲント大2 末澤正志1,深田直樹1,Jan Vanhellemont2,米永一郎1
  • 2半導体成長環境下におけるその場X線反射率測定名大院工1,名大VBL2 安西孝太1,鞠 光旭1,渕 真悟1,田渕雅夫2,竹田美和1
  • 3シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(1)ピーク吸光度1E-6台の検出東京農工大工1,トヨタ自動車2,システムズ・エンジニアリング3,大阪府大産学官4,熊本電波高専5 井上直久1,4,後藤安則2,菅谷孝夫3,河村裕一4,大山英典5
  • 4Si結晶空間電荷領域におけるCuセンタ変換反応のDLTS測定日立、日立研 中村 稔,村上 進
  • 5不純物をドープしたSiGe膜中の貫通転位運動岡山大院 船木 透,松永拓也,山下善文,石山 武,上浦洋一
  • 6CVD法を利用したPドープGeナノワイヤの成長物材機構1,JST さきがけ2,ジョージア工科大3 深田直樹1,2,三留正則1,関口隆史1,坂東義雄1,Zhong Lin Wang3
  • 7nc-Si/Au およびnc-Ge/Au 薄膜の電気特性に及ぼすAu の影響防衛大 機能材料 ○(DC)上田貴史,青野祐美,滝口裕章,宮崎 尚,岡本庸一
  • 8熱刺激電流法によるSi(111)基板上GaN薄膜中のトラップ評価大阪工大 吉田福蔵,中西佑太,三嶋一成,中谷光宏,淀 徳男,吉浦昌彦
  • 9LaAlO3における金属不純物の存在早大先進理工 ○(M1)山坂大樹,大木義路