
15. 結晶工学
31a-P15 - 1〜13
- 12段階成長法によるSi(111)基板上Ge薄膜の作製東京都市大1,九大2,JST さきがけ3,山梨大4 ○久保智史1,星 裕介1,澤野憲太郎1,浜屋宏平2,3,宮尾正信2,有元圭介4,山中淳二4,中川圭介4,白木靖寛1
- 2Ge/Siエピタキシャル成長を利用した薄膜歪GOI(111)構造の形成東京都市大総研1,九大院シス情2,JSTさきがけ3 ○星 裕介1,澤野憲太郎1,浜屋宏平2,3,宮尾正信2,白木靖寛1
- 3スパッタエピタキシー法で形成したGe薄膜の平坦化機構東京農工大 院工1,情報通信研究機構2 ○花房宏明1,広瀬信光2,笠松章史2,三村高志2,松井敏明2,須田良幸1
- 4Si基板上に直接成長させたGeのRBS測定物材機構量子ビームU1,東大マテリアル工学2 ○河野健一郎1,朴 成鳳2,石川靖彦2,和田一実2
- 5シリコン(001)上へのマンガンシリサイド細線構造の形成物材機構1,筑波大2,ジュネーブ大3 ○三木一司1,2,H. J. Liu1,2,J.H.G. Owen3,Ch. Renner3
- 6溶融GOI層の非直線成長とひずみ発生九大・院システム情報1,学振特別研究員2 ○加藤立奨1,黒澤昌志1,2,横山裕之1,東條友樹1,佐道泰造1,宮尾正信1
- 7SiGeミキシング誘起溶融成長法による網目状GOI層のコヒーレント成長九大・院システム情報1,学振特別研究員2 ○東條友樹1,横山裕之1,加藤立奨1,黒澤昌志1,2,都甲 薫1,佐道泰造1,宮尾正信1
- 8溶融SiGeの偏析成長による濃度傾斜型SGOI構造の形成九大・院システム情報1,学振特別研究員2 ○松村 亮1,東條友樹1,横山裕之1,黒澤昌志1,2,佐道泰造1,宮尾正信1
- 9貼り合わせGeOI基板における界面近傍欠陥密度の熱処理依存性阪大院基礎工1,PRESTO-JST2,コバレントシリコン3 山阪司祐人1,○中村芳明1,2,南 圭祐1,吉武 修1,吉川 純1,泉妻宏治3,酒井 朗1
- 10横方向液相エピタキシャル成長により作製した局所GOI構造の電気特性評価阪大院工 ○鈴木雄一朗,荻原伸平,細井卓治,志村考功,渡部平司
- 11固相拡散法を用いて形成したSi1-xGex on Insulator基板上への歪Ge層成長名古屋大院工1,学振特別研究員2 ○山羽 隆1,志村洋介1,2,中塚 理1,財満鎭明1
- 12Ge(110)基板上へのGe1−xSnxヘテロエピタキシャル層成長名大院工1,学振特別研究員2 ○浅野孝典1,志村洋介1,2,中塚 理1,財満鎭明1
- 13Sn添加および水素熱処理がGeエピタキシャル層中の欠陥に与える影響名古屋大院工1,学振特別研究員2 ○足立正樹1,志村洋介1,2,中塚 理1,財満鎭明1