8. プラズマエレクトロニクス

29a-ZN - 1〜10

• 1二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン入射エネルギー分布京大院工 ^○松岡健二，鷹尾祥典，江利口浩二，斧　高一
• 2超小型誘導結合型プラズマ源における容量結合の影響京大院工 ^○鷹尾祥典，江利口浩二，斧　高一
• 3高誘電率放電管による表面波プラズマの周波数依存性東海大院工 ^○（M1）時枝孝典，関根温志，谷内康行，内海倫明，渋谷猛久，進藤春雄
• 4回転磁場を用いたプラズマプロセス中のラジカル制御阪大院工 ^○近藤崇博，太田雅之，岡田成文
• 5水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜における欠陥密度の抑制効果名大院工¹，JST-CREST^{2 ○（M1）}陸　　雅¹，福島敦史¹，阿部祐介¹，竹田圭吾¹，石川健治¹，近藤博基¹，関根　誠^1,2，堀　　勝^1,2
•  休憩　11:00〜11:15
• 610 GHzマイクロ波スロット励起大気圧プラズマにおけるプラズマ生成と活性種の挙動に関する研究名大院¹，東京エレクトロン技術開発センター^{2 ○}加藤正規¹，竹田圭吾¹，石川健治¹，近藤博基¹，関根　誠¹，堀　　勝¹，三好秀典²，久保田雄介²，伊藤　仁²
• 7同軸型低気圧マイクロプラズマの真空紫外放射に及ぼす気圧依存性長崎大院工 早田慎太郎，田尻俊介，^○藤山　寛
• 8面放電型大気圧プラズマ源を用いたオゾン生成の検討日立中研¹，日立日研^{2 ○}小林浩之¹，丹藤　匠¹，中島昌一²，栗原　優¹，板橋直志¹，鈴木敬三¹，永石英幸¹，根岸伸幸¹
• 9アルゴンガス中ジェット型誘電体バリア放電の分子添加による均一化およびパターン形成現象京大院工 ^○山田慶太郎，占部継一郎，酒井　道
• 10ガスフロー中でのパルス細線放電法による銅ナノ粒子の作製長岡工業高専¹，長岡技術科学大² 佐野佑介¹，^○床井良徳¹，末松久幸²，中山忠親²

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• 1ECRイオン源におけるプレートチューナーによるチューニング時のビーム量とプラズマパラメータの関係阪大院工 ^○（M1）栗栖庸輔，桐山隆太郎，武仲朋也，野崎　大，坂本直樹，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行
• 2パルスモードマイクロ波ECRイオン源のプラズマパラメータとビーム電流の時間発展測定阪大院工 ^○桐山隆太郎，坂本直樹，武仲朋也，栗栖庸輔，野崎　大，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行
• 3ECRイオン源での誘導加熱式高純度蒸発源の温度制御特性阪大院工¹，放医研²，東洋大工^{3 ○（M1）}武仲朋也¹，桐山隆太郎¹，栗栖庸輔¹，野崎　大¹，北川敦志²，村松正幸²，内田貴司³，吉田善一³，佐藤文信¹，加藤裕史¹，飯田敏行¹
• 4高圧マイクロ波マルチホロー放電におけるプラズマの分布制御中部大工¹，芝浦メカトロニクス^{2 ○}Ivanpetrov Ganachev^1,2，太田　習¹，加藤公孝¹，中村圭二¹，菅井秀郎¹
• 5共振器-スロット型ランチャーを用いた915MHz表面波励起プラズマの生成と大面積表面プロセスへの応用静岡大 ^○シジャン チャン，國井一輝，荻野明久，永津雅章
• 6二重分割リング共振器上へのマイクロ波プラズマの生成(III)京都大工 ^○飯尾　聡，今中浩輔，酒井　道
•  休憩　10:30〜10:45
• 7加速器駆動BNCTシステム用ECRイオン源の研究開発東工大院理工¹，東工大原子炉研^{2 ○（D）}高村雅希¹，林崎規託²
• 8食塩水中での高周波プラズマ　-小電力でのプラズマ維持-愛媛大理工¹，愛媛大農^{2 ○}井口智加¹，前原常弘¹，天野達矢¹，向笠　忍¹，豊田洋通¹，野村信福¹，川嶋文人²
• 9大気圧グロー放電を電極として用いた電解反応の実験的検討首都大学東京 ^○安藤佑次郎，白井直機，内田　諭，杤久保文嘉
• 10パルスバルブで生成した単一気泡内での放電スペクトル解析愛媛大院理工¹，大阪電通大工^{2 ○}水元雄介¹，武方勇気¹，本村英樹¹，神野雅文¹，橘　邦英²
• 11多孔質グラファイト電極を用いた水中バブルDBDプラズマの放電特性静大創造科技院 ^○Sonia Muradia，渡辺　純，荻野明久，永津雅章