11　Semiconductors A (Silicon)
	Aug. 29 (Tue.)		Aug. 30 (Wed.)		Aug. 31 (Thu.)		Sept. 1 (Fri.)
	AM	PM	AM	PM	AM	PM	AM	PM
11.1 Fundamental Materials Characterization and Evaluation						コ-ZN　13:00〜18:00
11.2 Surface	コ-ZN　10:00〜13:00	コ-ZN　14:00〜16:30
11.3 Gate Insulator Technology			P5(poster session only) 　9:30〜11:30		P10(poster session only) 　9:30〜11:30	P12(poster session only) 　13:00〜15:00
11.4 Review Lectures and General Session:Historical review on LSI multi-level interconnect technology and the on-going evolution toward nanometers-scaling	コ-ZW　10:00〜12:10	コ-ZW　13:10〜16:45
11.4 Interconnect Technology			コ-ZN　10:00〜13:00	コ-ZN　14:00〜19:00	コ-ZN　9:00〜12:00
11.5 Si Process Technology	コ-ZQ　10:00〜13:00	コ-ZQ　14:00〜17:30	コ-ZQ　10:00〜13:00	コ-ZQ　14:00〜19:00	コ-ZQ　10:00〜12:45	コ-ZQ　14:00〜18:45
11.6 Si Devices/Integration Technology	コ-ZR　10:00〜13:00	コ-ZR　14:00〜16:30	コ-ZR　10:00〜13:00	コ-ZR　14:00〜17:15	コ-ZR　10:00〜13:00
11.7 Simulation						コ-ZR　14:00〜18:30