15. 結晶工学

15.8 結晶評価,ナノ不純物・結晶欠陥

9月11日 9:00〜12:15  会場:F3

11a-F3 - 1〜12

  • 12次欠陥フリーになる融液シリコン結晶成長の最重要因子信越半導体1,阪大2 阿部孝夫1,高橋 徹1,白井光雲2
  • 2Si結晶育成中の固液界面近傍におけるSi原子挙動に関する考察岡山県立大情報工 神山栄治,末岡浩治
  • 3単結晶Si育成中の点欠陥挙動に与える熱応力の影響岡山県立大情報工 末岡浩治,神山栄治
  • 4育成中Si単結晶の点欠陥濃度に与える添加物の影響岡山県大情報工 末岡浩治,神山栄治
  • 5窒素雰囲気中高温長時間熱処理によりシリコン中に発生する析出物(II)富士電機1,横国大工2 中澤治雄1,荻野正明1,寺西秀明1,高橋良和1,羽深 等2
  • 6半導体中のフォノンキック欠陥反応機構和歌山大シス工 ○(M2)脇田昌紀,篠塚雄三
  •  休憩 10:30〜10:45
  • 7シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(3)極低炭素濃度結晶の照射と熱処理の定量的解析東京農工大工1,トヨタ自動車2,東レリサーチ3,システムズエンジニアリング4,大阪府大5,熊本高専6 井上直久1,後藤安則2,関 洋文3,渡邉 香4,河村裕一5,大山英典6
  • 8シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(4)as-grown結晶のO2i東京農工大工1,システムズエンジニアリング2,東レリサーチ3,大阪府立大4 井上直久1,渡邉 香2,関 洋文3,河村裕一4
  • 9Si結晶中のドーパント-点欠陥複合体と金属原子の相互作用に関する第一原理計算岡山県大院情報系工1,岡山県大情報工2 岩崎剛士1,末岡浩治2
  • 10陽電子マイクロビームと電子線誘起電流法(EBIC)による結晶欠陥の観察原子力機構先端研 前川雅樹,河裾厚男
  • 11pnダイオードの階段状逆方向電流-電圧特性の考察日立・日立研1,日立・電機シ2,日立原町電子3 村上 進1,松吉 聡2,穀内 滋3,小林五月3,菅野 実3,中村 稔1
  • 12キャリア注入下における多結晶シリコン太陽電池中の鉄不純物静理大 塚本美徳,吉田 豊