シンポジウム

＜13:15〜13:30はプラズマエレクトロニクス賞表彰式＞

25p-BS - 1〜9

• 1イントロダクトリートーク：プラズママップから見るプラズマプロセス技術の将来展望（10分）東芝研究開発センター¹，東北大院工^{2 ○}栗原一彰¹，金子俊郎²
• 2大気圧近傍でのプラズマ化学輸送を利用したシリコン材料プロセス（30分）阪大院工¹，JST-CREST^{2 ○}大参宏昌^1,2
• 3プラズマイオン注入によるペットボトルのガスバリア性向上と滅菌（30分）金沢工大 ^○作道訓之
• 4熱プラズマを用いた革新的省エネルギーガラス溶解技術（30分）東工大総理工¹，旭硝子^{2 ○}渡辺隆行¹，酒本　修²
•  休憩　15:10〜15:25
• 5大気圧プラズマジェットを用いた超急速熱処理技術とその半導体デバイス作製プロセス応用（30分）広大院先端研 ^○東清一郎
• 6シリコンロッド切削用ソーワイヤのプラズマによる高性能化 -ウェットからドライプロセスへ-（30分）長崎大生産¹，ジャパンファインスチール^{2 ○}藤山　寛¹，辰石健二¹，小林祐介¹，松尾直志¹，篠原正典¹，岩本直久²，西山新一郎²
• 7光源プラズマのこれまでとこれから（30分）愛媛大学工 ^○神野雅文
• 8プラズマ滅菌・医療（30分）静大創造科技院¹，静大院工^{2 ○}永津雅章^1,2，趙　　穎¹，Teguh Saraswati¹，塚崎　旭²，荻野明久^1,2
• 9世界の潮流と我が国のプラズマ科学技術への提言（30分）名大院 ^○堀　　勝