シンポジウム

25p-BV - 1〜8

• 1イントロダクトリートーク　-MEMS/CMOS異種機能集積化を目指して-（30分）東工大ソリューション ^○益　一哉
• 2CMOS混載RF-MEMS可変容量デバイスと今後の展望（30分）東芝研開セ ^○柴田英毅
• 3ＣＭＯＳ-ＭＥＭＳとセンサ（30分）日立中研 ^○後藤　康
•  休憩　15:00〜15:15
• 4三次元集積化技術の今後の展開（30分）東京大学 ^○大場隆之
• 5既存ＩＣラインへのＭＥＭＳ集積化（生活を支援するセンサ・マイクロシステムへの応用）（30分）国立交通大学 ^○温　環岸
• 6集積化MEMSとVLSI（30分）東京大学 ^○竹内　健
• 7ＳＰＩＣＥ環境下でのＭＥＭＳ解析（30分）東京大学 ^○年吉　洋
• 8総合討論（30分）ルネサスエレクトロニクス¹，東大^{2 ○}古澤健志¹，年吉　洋²