8. プラズマエレクトロニクス

8.2 プラズマ診断・計測

3月24日 会場:第二-P10
ポスターセッション
ポスター掲示時間9:30〜11:30

24a-P10 - 1〜27

  • 1大気圧低温プラズマジェットへの赤外レーザ光交差によるHe2発光増強現象とその分光診断京大院工1,愛媛大院理工2 ○(D)占部継一郎1,本村英樹2,酒井 道1,橘 邦英2
  • 2化学プローブ法による液体中のヒドロキシラジカルの測定 - 大気圧プラズマジェットへの適用 -大分大工 金澤誠司,古木貴志,赤峰修一,市來龍大
  • 3大気圧DCアーク放電熱プラズマジェットのパワー密度空間プロファイル測定広大院 先端研 松本和也,中元翔平,林 将平,池田弥央,東清一郎
  • 4ハイスピードカメラによるグライディングアーク放電の電流路観測崇城大・情報1,熊本大・工2,佐世保高専3,日本文理大・工4 青木振一1,光木文秋2,川崎仁晴3,川崎敏之4,大島多美子3
  • 5衝突輻射モデルをパルス発光解析に応用する際に必要な常微分方程式論的考察東工大原子炉研 赤塚 洋
  • 6窒素プラズマで測定した波長200-300 nm領域の発光スペクトル産総研1,島根産技セ2 鈴木 淳1,朝比奈秀一2
  • 7誘導性結合メタン/水素プラズマのプローブならびに発光分光計測名工大 木村高志
  • 8対向ターゲットスパッタプラズマ中の46-50Ti I原子のガス温度と密度の放電電流・ガス圧力依存性東京工芸大工 小野裕輔,安田洋司,西宮信夫,鈴木正夫
  • 9紫外LEDを用いたスパッタAl原子密度の吸収計測(II)長崎大院生産科学1,長崎大工2 進藤亮太1,平嶋彰典1,小峰一輝1,篠原正典1松田良信2
  • 10誘導結合プラズマ支援スパッタ過程における基板入射熱流束測定長崎大院生産科学1,長崎大工2 嶺 健二1,北川博章1,篠原正典1松田良信2
  • 11時間依存熱流束のための新しい再構成法の提案大阪府大工1,核融合科学研究所2 松浦寛人1,永岡賢一2
  • 12吸収分光法を用いた炭素含有ガスによるマイクロ波プラズマ中のラジカルの計測名城大理工1,プラズマ技術産業応用センター2,名大院工3 村田健一1,内藤全晃1,平松美根男1,高島成剛2,近藤博基3,堀  勝3
  • 13レーザ吸収分光法を用いたマイクロホローカソード放電中の準安定He原子の挙動和歌山大シス工1,名城大理工2,NUエコエンジニアリング3,片桐エンジニアリング4,名大院工5 井上真里1,太田貴之1,家苗毅司1,伊藤昌文2,加納浩之3,山川晃司4,堀  勝5
  • 14シリコン基板への水素プラズマ処理効果の赤外分光計測長崎大院生産科学1,長崎大工2 ○(M1)原幸治郎1,河上貴聡1,高見佳生2,高木雄也2,篠原正典1,松田良信2,藤山 寛1
  • 15大気圧プラズマが誘起する反応の赤外吸収分光計測装置の試作長大院生産科学1,長大工2 篠原正典1,河上貴聡1,原幸治郎1,高見佳生2,高木雄也2,松田良信2,藤山 寛1
  • 16水素原子バルマーアルファ線の飽和吸収分光計測における飽和特性名大工1,核融合研2,北大工3,ヨゼフフーリエ大学グルノーブル校4 浅川れんげ1,河野明廣1,後藤基志2,佐々木浩一3,ナダー サデギ4
  • 17薄膜太陽電池作製用VHFプラズマのレーザートムソン散乱計測九大総理工 陳 韋廷,木村雄起,佐野雄太郎,富田健太郎,内野喜一郎,河合良信
  • 18ソリューションプラズマによる金ナノ粒子合成における水のかご効果の分析名大院工1,名大エコ2,JST-CREST3 ○(M1)藤本大地1,稗田純子1,マリア ブラテスク1,高井 治1,3,齋藤永宏1,2
  • 19水素プラズマとグラファイトの相互作用により発生したナノダストの基板へのフラックスの基板バイアス電圧依存性九大1,核融合科学研究所2 西山雄士1,宮田大嗣1,山下大輔1,鎌滝晋礼1,内田儀一郎1,板垣奈穂1,古閑一憲1,白谷正治1,芦川直子2,増崎 貴2,西村清彦2,相良明男2
  • 20新エミッシブ法による高周波プラズマの診断(III)東海大院総理工1,東海大情報理工2,東海大工3 進藤春雄1,谷内康行1,竹内 創2,内海倫明3
  • 21E結合コンパクト周波数シフトプローブによる電子密度測定II中部大工 梁 以資,加藤公孝,中村圭二,菅井秀郎
  • 22マイクロ波共振器プローブを用いた電子密度計測における測定精度向上中部大工 ○(M1)熊崎恵未,土屋 貴,中村 博,中村圭二,菅井秀郎
  • 23Arガスを用いた容量結合型RFプラズマ中における金属の電流電圧特性V広国院大工 久保 隆
  • 24アブレーション現象に関する光波マイクロホン計測熊本大1,東海大2 光木文秋1,池上知顯1,中宮俊幸2,園田義人2
  • 25高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法によって発生したプラズマ解析のための飛行時間型質量分析装置の開発東北大理1,東北大院理2,アヤボ3 ○(B)田村哲郎1,小安喜一郎2,山本宏晃3,石原太樹3,塚本恵三3,美齊津文典2
  • 26SiH4/H2マイクロ波プラズマ中のSiH3ラジカル空間分布計測名大工1,名大プラズマナノ2 池田昌平1,黒田俊之1,石島達夫2,豊田浩孝1,2
  • 27質量分析法による大気圧プラズマの気相診断名大工1,名大プラズマナノ2 澤口陽介1,石島達夫2,豊田浩孝1,2