7. ビーム応用

26a-KX - 1～8

• 1スティクションを利用したナノ振動子の高Q値化東大院工 ^○芦葉裕樹，米谷玲皇，割澤伸一，石原　直
• 2フッ素表面コーティングによるFIB-CVD形成DLC振動子の高Q値化東大工院 ^○米谷玲皇，割澤伸一，石原　直
• 3FIB-CVDで成膜したFe-Ga含有DLC膜のアニールによるFe及びGaの挙動観察兵庫県立大¹，NEC 筑波研究所²，JSPS^{3 ○}中井康喜¹，姜　有志¹，岡田　真^1,3，春山雄一¹，神田一浩¹，市橋鋭也²，松井真二¹
• 4雰囲気ガス中GCIB照射効果のIn-situ XPSによる評価兵庫県大院工 ^○（M1）中桐基裕，豊田紀章，山田　公
• 5ClF₃中性クラスタービームによる反応性エッチング京大院工¹，岩谷産業^{2 ○}瀬木利夫¹，吉野　裕²，妹尾武彦²，小池国彦²，青木学聡¹，松尾二郎¹
• 6超音速反応性クラスター衝突の分子動力学シミュレーション京大院工 ^○青木学聡，瀬木利夫，松尾二郎
•  休憩　10:45～11:00
• 7Ni(111)表面への超音速O₂分子線照射による酸化膜の形成過程及び初期吸着レートの運動エネルギー依存性日本原子力研究開発機構¹，兵庫県立大院^{2 ○（M1）}井上敬介^1,2，寺岡有殿^1,2
• 8速度可変単一スピン・回転状態選別酸素分子ビームの開発(I)物材機構 ^○倉橋光紀，山内　泰
• 9〜1211:30〜12:30（7.8 ビーム応用一般・新技術）