7. ビーム応用

7.1 X線技術

3月24日 会場:K2-KX
ショートプレゼンテーション(5分)9:30~11:00
ポスター掲示時間15:30~17:30 (会場:第二)

24a-KX - 1~18

  • 1LiTaO3単結晶により発生するX線の気圧依存性岡山大院保1,原子力機構2 花元克巳1,川辺 睦1,迫田晃弘2,片岡隆浩1,岡田麻里1,山岡聖典1
  • 2LiTaO3単結晶を用いたX線発生の安定性の改善同志社大院工1,京大化研2 本田博敬1,深尾真司1,中西義一1,佐藤祐喜1,伊藤嘉昭2,吉門進三1
  • 3軟X線顕微鏡用低デブリLPP光源の開発東北大多元研 江島丈雄,石田史彦,相澤宗太郎,古舘三七二,柳原美廣
  • 4トムソン散乱法によるレーザー生成EUVプラズマの最適制御に関する研究九大総理工 富田健太郎,大原孝太,中山和貴,竹本剛太郎,内野喜一郎
  • 5レーザー生成スズプラズマによる極端紫外光源の放射流体シミュレーションレーザー総研1,阪大レーザー研2,EUVA3 砂原 淳1,西原功修2,堀  司3
  • 6Gd, Tbターゲットを用いた短波長EUV光源の原子過程モデリング原子力機構1,阪大レーザー研2,レーザー総研3,岡山大4,北里大5 佐々木明1,西原功修2,砂原 淳3,古河裕之3,西川 亘4,小池文博5
  • 7次世代半導体リソグラフィーのための希土類プラズマ極端紫外光源 (I)宇都宮大院工・CORE1,長岡技科大2,ドレスデン中央研究所3,アイルランド国立大学ダブリン校4 東口武史1,大塚崇光1,湯上 登1,谷田貝豊彦1,江 偉華2,遠藤 彰3,Padraig Dunne4,Gerry O'sullivan4
  • 8次世代半導体リソグラフィーのための希土類プラズマ極端紫外光源 (II)宇都宮大院工・CORE1,長岡技科大2,ドレスデン中央研究所3,アイルランド国立大学ダブリン校4 大塚崇光1,東口武史1,湯上 登1,谷田貝豊彦1,江 偉華2,遠藤 彰3,Padraig Dunne4,Gerry O' Sullivan4
  • 9プラズマデブリ耐性X線ミラーの研究(II)兵庫県大高度研 天野 壮,井上智章,原田哲男
  • 10開口角可変式マスクによる軟X線多層膜曲面鏡上のイオンミリング速度分布制御東北大多元研 荒井光司,津留俊英
  • 11X線顕微鏡におけるフーコーナイフエッジ走査による位相CT筑波大数物 渡辺紀生,岩田俊治,座間啓介,今井祐介,辻村貴幸,青木貞雄
  • 12密着型軟X線顕微鏡によるマウス肝臓細胞の光学定数の評価東北大 石田史彦,根市侑太郎,江島丈雄,柳原美廣
  • 13形態パラメータの連立方程式によるナノ粒子の構造解析名工大院工 南出 直,山本章司,林 路直,國方陽平,川口 健
  • 14X線散乱曲線より求められる自己相関関数による最大径の評価(II)名工大院工 山本章司,南出 直,林 路直,國方陽平,川口 健
  • 15Bent-twisted結晶ポリクロメーターを改良した角度-波長同時分散型X線反射率計東京学芸大1,高エ研-PF2,高エ研機械工学センタ3,東大物性研4,立命館大5 荒川悦雄1,松下 正2,東 保男3,ヴォルフガング フォグリ4,矢野陽子5
  • 16ヨハンソンモノクロメータを用いた実験室系X線CTR散乱測定装置の解析精度の検討名大院工1,名大VBL2 益田征典1,川瀬達也1,二木浩之1,田渕雅夫2,竹田美和1
  • 17時分割X線回折による2元系鉄合金の無容器凝固その場観察学習院大1,JASRI/SPring-82 ○(M1)田村 仁1,水野章敏1,渡邉匡人1,小原真司2
  • 18特性X線スペクトルの変化を利用したSiO2ガラス中ドーパントの定量分析住友電工 解析研 久保優吾