6. 薄膜・表面

6.3 酸化物エレクトロニクス

3月24日 9:00~12:30  会場:B5-BF

24a-BF - 1~13

  • 1光触媒ナノ粒子を用いたリソグラフィプロセスの開発II大阪府立高専 ○(B)植村公亮,竹本絵理,前田篤志
  • 2光触媒ナノシートを用いたリソグラフィプロセスの開発大阪府立高専1,豊橋技科大2 ○(B)中野瑞記1,前田篤志1,松田厚範2
  • 3電子線描画を用いた謡曲酸化アルミナの形成物材機構 ○(PC)原田善之,児子精祐,加藤誠一,中野嘉博,北澤英明,木戸義勇
  • 4酸化物-金属界面における界面結合の一般的予測物材機構 吉武道子,知京豊裕
  • 5透明酸化物材料の近赤外プラズモニック機能:ヘテロ構造界面を活かした表面吸収振動分光(SPR-ABS)への展開東大工1,食総研2,京都工繊大3 松井裕章1,Wasanthamala Badalawa1,池羽田昌文2,蓮池紀幸3,播磨 弘3,田畑 仁1
  • 6絶縁体薄膜堆積による表面仕事関数制御東工大応セラ研1,東工大フロンティア2,JSTさきがけ3 ○(M2)牧島 旭1,細野秀雄1,2,須崎友文1,3
  •  休憩 10:30~10:45
  • 7SrAl2O4:Eu,Dy薄膜の剥離の抑制の検討新潟大 齋藤 稔,久野敬史,小林和晃,清水英彦,岩野春男,福島康夫,川上貴浩
  • 8下地基板の影響を軽減した酸化物結晶薄膜形成沼津高専1,神奈川工大2 野毛 悟1,宇野武彦2
  • 9YO-YO法によるZnGa2O4微結晶の作製秋田県大 鈴木真理子,木村親夫,小宮山崇夫,長南安紀,山口博之,青山 隆
  • 10LaAlO3/LaTiO3/SrTiO3 における界面伝導およびそのゲート電圧による制御東大新領域1,スタンフォード大2,SLAC3,JST4 細田雅之1,クリストファー ベル1,疋田育之1,ハロルド ファン1,2,3,4
  • 11表面電荷によるSrTiO3薄膜の電子蓄積・空乏名大院工1,JFCC2,東大総研3,JST さきがけ4 内田光亮1,河本邦仁1,Shijian Zheng2,加藤丈晴2,幾原雄一2,3,太田裕道1,4
  • 12二元系遷移金属酸化物ReRAM における各抵抗状態及びその相関関係の分析鳥取大工1,ディスプレイセンター2 ○(M1)田中隼人1,木下健太郎1,2,岸田 悟1,2
  • 13フォーミングフリーReRAMにおけるフィラメント物性の解明鳥取大工1,鳥取大ディスプレイセンター2 木下健太郎1,2,北村健一1,依田貴稔1,岸田 悟1,2

6.3 酸化物エレクトロニクス

3月25日 9:00~19:00  会場:B5-BZ

25a-BZ - 1~11

  • 1In-situ放射光光電子分光を用いた低環境負荷不揮発メモリAl/Fe3O4の界面化学状態解析東大工1,東大院工2,JST-さきがけ3,東大放射光機構4,JST-CREST5 中田耕次1,並木武史2,山本大貴2,安原隆太郎2,大久保勇男1,2,組頭広志1,2,3,4,,尾嶋正治1,2,4,5
  • 2ペロブスカイト酸化物系ReRAMにおけるメモリ効果の発現機構鳥取大工1,TEDREC2 花田明紘1,木下健太郎1,2,松原勝彦1,福原貴博1,岸田 悟1,2
  • 3Pt/SiOx/Ptキャパシタ構造の抵抗変化特性評価 (II)広大院 先端研1,名大院工2 後藤優太1,大田晃生1,西垣慎吾1,村上秀樹1,東清一郎1,宮崎誠一2
  • 4バイポーラ型Pt/NiO/Pt抵抗変化メモリの特性評価奈良先端大1,CREST2 上沼睦典1,2,川野健太郎1,2,鄭  彬1,2,石河泰明1,2,山下一郎1,2,浦岡行治1,2
  • 5Impact of Insertion of Ultrathin TaOx Layer at the Pt/TiO2 Interface on Resistive Switching Characteristics広大院 先端研1,名大院工2 ○(D)Guobin Wei1,村上秀樹1,藤岡知宏1,大田晃生1,後藤優太1,東清一郎1,宮崎誠一2
  • 6Ru添加したTiYxOyの抵抗変化特性評価広大院先端研1,名大院工2 大田晃生1,後藤優太1,三嶋健斗1,Goubin Wei1,村上秀樹1,東清一郎1,宮崎誠一2
  •  休憩 10:30~10:45
  • 7凹凸構造を持った抵抗変化メモリの電流-電圧特性日大理工1,関大システム理工2,名大院工3 大塚慎太郎1,古屋沙絵子1,清水智弘2,新宮原正三2,牧原克典3,宮崎誠一3,渡辺忠孝1,高野良紀1,高瀬浩一1
  • 8フォーミング過程に起因するSrTiO3バイクリスタル接合界面のEBIC コントラスト変化阪大院基礎工 加藤哲司,Thanh Son Pham Phu,中村芳明,吉川 純,酒井 朗
  • 9垂直接合カーボンナノチューブ電極を用いたReRAM産総研 連携研究体GNC 中野美尚,高橋 慎,川端章夫,佐藤元伸,二瓶瑞久,横山直樹
  • 10抵抗型スイッチング素子を目指したアルミニウム酸化膜のフィラメント状伝導現象の研究物質材料研究機構1,日本GIT2 金 龍民1,児子精祐1,原田善之1,加藤誠一1,大吉啓司1,中野嘉博2,北澤英明1,木戸義勇1
  • 11酸化アルミニウム系ReRAMデバイスの作製物材機構 ○(PC)原田善之,大井修一,児子精祐,加藤誠一,中野嘉博,北澤英明,生田目俊秀,木戸義勇
  •  昼食 12:00~13:00

25p-BZ - 1~20

  • 1「第11回応用物理学会業績賞(研究業績)受賞記念講演」(50分)
    透明酸化物の特徴と機能開拓
    東京工業大学 細野秀雄
  •  休憩 13:50~14:00
  • 2Na添加によるNiO薄膜の電気特性制御筑波大院数理 皆見健史,田之上健司,櫻井岳暁,秋本克洋
  • 3ペロブスカイト酸化物電極上のBa0.7Sr0.3TiO3薄膜の強誘電特性名大院工 小林 智,小林耕平,田代裕樹,宮脇哲也,植田研二,浅野秀文
  • 4LaAlO3/Nb:SrTiO3(001)へテロ構造におけるナノスケール内蔵電位の直接観察東大新領域1,JST2,東大院工3,スタンフォード大4,SLAC5 ○(DC)矢嶋赳彬1,簑原誠人1,2,疋田育之1,クリストファー ベル1,組頭広志3,尾嶋正治3,ハロルド ファン1,2,4,5
  • 5[(SrIrO3)m, SrTiO3]超格子薄膜における次元性制御と電子相図東大新領域1,理研ASI2 井原康太1,松野丈夫2,新高誠司2,高木英典1,2
  • 6放射光電子分光による無限層構造Eu1-xSrxFeO2薄膜の電子状態東大院理1,KAST2,東大院工3 近松 彰1,松山敏也1,廣瀬 靖1,2,組頭広志3,尾嶋正治3,長谷川哲也1,2
  • 7自己組織化相分離による(Fe,Zn)3O4-BiFeO3磁性半導体-強誘電体ナノピラーヘテロ構造の創製(II)阪大1,NIMS/SPring-82 阪本卓也1,神吉輝夫1,服部 梓1,小畠雅明2,小林啓介2,田中秀和1
  • 8ICP支援スパッタ法によるガラス基板上へのM2相VO2薄膜の成長東海大工1,トゥール大学LEMA2 沖村邦雄1,坂井 穣2
  • 9反応性スパッタ法による相転移V2O3薄膜成長と異相共存の影響東海大工 鈴木康史,沖村邦雄
  • 10VO2薄膜の多値メモリ効果観測阪大産研 川谷健一,高見英史,神吉輝夫,田中秀和
  •  休憩 16:15~16:30
  • 11(Fe1-xCrx)2O3薄膜の作製と光学特性評価東工大院工 増子尚徳,大島孝仁,大友 明
  • 12Aサイトオーダーペロブスカイト型酸化物強磁性体CaCu3Mn4O12のエピタキシャル薄膜の作製 (3)東大院工1,東工大応セラ研2,東大新領域3,JST-CREST4,東大放射光機構5 磯部真里1,大久保勇男1,下山淳一1,松本祐司2,鯉沼秀臣3,尾嶋正治1,4,5
  • 13Electric Field Effect of Electrolyte-gated CaMnO3 Thin Films産総研1,JST-CREST2,WPI Tohoku University3,QPEC Tokyo University4,CERG RIKEN5 Ping-Hua Xiang1,2,S. Asanuma1,2,H. Yamada1,I. H. Inoue1,H. Sato1,H. Akoh1,2,A. Sawa1,K. Ueno3,M. Kawasaki3,5,Y. Iwasa4,5
  • 14高指数面基板上へのMn酸化物薄膜のエピタキシャル成長富士電機HD1,東大先端研2,JST-CREST3 荻本泰史1,2,3,小川直毅2,3,宮野健次郎2,3
  • 15高指数面基板上に作製したMn酸化物薄膜の磁気・輸送特性富士電機HD1,東大先端研2,JST-CREST3 荻本泰史1,2,3,小川直毅2,3,宮野健次郎2,3
  • 16PLD法により作製したSrMnO3-δ薄膜の原子構造解析東大新領域1,物質・材料研究機構2,東大生研3,東大総研4 小林俊介1,大西 剛2,溝口照康3,柴田直哉4,佐藤幸生4,幾原雄一4,山本剛久1
  • 17LSAT基板上でのBサイトオーダーダブルペロブスカイトLa2NiMnO6のエピタキシャル薄膜作製条件の最適化東大院工1,東工大応セラ研2,東大新領域3,JST-CREST4,東大放射光機構5 桜井康成1,大久保勇夫1,松本祐司2,鯉沼秀臣3,尾嶋正治1,4,5
  • 18LSAT(100)基板上のSr2RuO4薄膜の成長様式変化理研1,スタンフォード大2,東北大WPI材料機構3,東大工4,ERATO-MF5 堀田育志1,高橋 圭1,ハロルド ファン1, 2,川崎雅司1, 3, 4,十倉好紀1, 4, 5
  • 19DyScO3基板上に作成したSrRuO3薄膜の異方性計測阪大レーザー研 許 偉銘,金城隆平,川山 巌,村上博成,斗内政吉
  • 20パルスレーザー堆積法を用いたSrLaVMoO6薄膜の作製と評価東大理1,KAST2 大瀧未帆1,近松 彰1,重松 圭1,中尾祥一郎2,廣瀬 靖1,2,福村知昭1,長谷川哲也1,2

6.3 酸化物エレクトロニクス

3月26日 9:00~19:00  会場:B5-BF

26a-BF - 1~11

  • 1「講演奨励賞受賞記念講演」(15分)
    酸化物ヘテロ界面におけるダイポールエンジニアリングとショットキー障壁高さの制御
    東大新領域1,JST2,東大院工3,スタンフォード大4,SLAC5 矢嶋赳彬1,疋田育之1,簑原誠人1,2,佐藤弘樹1,クリストファー ベル1,組頭広志3,尾嶋正治3,ハロルド ファン1,2,4,5
  • 2作製条件によるLaAlO3/SrTiO3界面の電気伝導特性の制御東大新領域1,JST2,スタンフォード大3,SLAC4 ○(M2)佐藤弘樹1,Christopher Bell1,疋田育之1,Harold Hwang1,2,3,4
  • 3SrTiO3(001)-(√13×√13)基板表面上におけるホモエピタキシャル成長初期過程の原子スケール観察東北大WPI-AIMR1,東大院理2 清水亮太1,2,岩谷克也1,大澤健男1,白木 将1,長谷川哲也2,橋詰富博1,一杉太郎1
  • 4SrO終端SrTiO3(001) 基板表面の電子状態東北大WPI-AIMR 大澤健男,岩谷克也,清水亮太,橋詰富博,一杉太郎
  • 5ワイドギャップ絶縁体/SrTiO3 ヘテロ界面における空乏層形成東大新領域1,東大物性研2,物質材料研究機構3 ○(D)西尾和記1,ミッコ マトヴィエフ2,高橋竜太2,角谷正友3,ミック リップマー1,2
  • 6水電気分解によるSrTiO3の次元クロスオーバー名大院工1,JFCC2,東大総研3,科技機構さきがけ4 水野 拓1,Shijian Zheng2,加藤丈晴2,幾原雄一2,3,太田裕道1,4
  •  休憩 10:30~10:45
  • 7パルスレーザー堆積法により作製したアナターゼ型TiO2薄膜の成長レート依存性東大新領域1,JST-CREST2,東大物性研3,スタンフォード大4,SLAC5 立川 卓1,簑原誠人1,2,秋山英文3,疋田育之1,クリストファー ベル1,ハロルド ファン1,2,4,5
  • 8界面終端層制御によるアナターゼ型TiO2/LaAlO3(001)へテロ構造の金属絶縁体転移東大院新領域1,JST-CREST2,スタンフォード大3,SLAC4 ○(P)簑原誠人1,2,立川 卓1,中西康生1,疋田育之1,ベル クリストファー1,2,ファン ハロルド1,2,3,4
  • 9Al/La0.6Sr0.4MnO3界面型ReRAMにおける多値スイッチング動作東大院工1,JST さきがけ2,東大放射光機構3,JST-CREST4 ○(M2)山本大貴1,安原隆太郎1,大久保勇男1,組頭広志1,2,3,尾嶋正治1,3,4
  • 10Al/Pr0.7Ca0.3MnO3 構造ReRAM における素子特性の酸化物膜厚依存性東大1,JSTさきがけ2,東大放射光機構3,JST-CREST4 ○(M1)並木武史1,山本大貴1,安原隆太郎1,大久保勇男1,組頭広志1,2,3,尾嶋正治1,3,4
  • 11固体電解質ReRAMにおけるフィラメント形成過程のTEM観察北大情報1,STARC2 ○(DC)藤井孝史1,有田正志1,浜田弘一1,高橋庸夫1,藤原一郎2
  •  昼食 12:00~13:00

26p-BF - 1~23

  • 1単結晶酸化バナジウム細線中における金属-絶縁体Domain Wallの運動東大生研 守谷 頼,町田友樹
  • 2強誘電体ドメインによる光電流の制御東大物性研1,NTNU2 高橋竜太1,Thomas Tybell2,Mikk Lippmaa1
  • 3強誘電体スイッチングにおける紫外光照射の効果東大物性研1,NTNU2 高橋竜太1,Thomas Tybell2,Mikk Lippmaa1
  • 4様々な基板上へのハーフメタル酸化物Sr2FeMoO6薄膜の合成と物性東工大 応セラ研1,東工大 総理工2 門田祥悟1,安井伸太郎2,舟窪 浩2,松本祐司1,笹川崇男1
  • 5ハーフメタル酸化物Sr2FeMoO6薄膜における物性の膜厚依存性東工大 応セラ研1,東工大 総理工2 門田祥悟1,安井伸太郎2,舟窪 浩2,松本祐司1,笹川崇男1
  • 6BiFeO3薄膜における分極誘起抵抗スイッチング産総研 ○(PC)鶴巻 厚,山田浩之,澤 彰仁
  • 7室温溶液酸化法によるSrFeO3薄膜の作成京大化研 松本和也,境口 綾,平井 慧,市川能也,菅 大介,島川祐一
  • 8Sm置換による絶縁体無限層酸化物SrFeO2薄膜の金属化東大1,KAST2 片山 司1,近松 彰1,松山敏也1,廣瀬 靖1,2,福村知昭1,長谷川哲也1,2
  • 9Eu置換したSrFeO2エピタキシャル薄膜の輸送・磁気特性東大院理1,KAST2 ○(M2)松山敏也1,近松 彰1,廣瀬 靖1,2,福村知昭1,長谷川哲也1,2
  • 10SrRuO3エピタキシャル薄膜の構造相転移におけるストレイン効果京大化研 菅 大介,島川祐一
  • 11LaNiO3薄膜の次元性制御による金属絶縁体転移東大工1,東大院工2,JST-CREST3,JSTさきがけ4,東大放射光機構5 玉光雅智1,坂井延寿2,3,吉松公平2,組頭広志2,4,5,尾嶋正治2,3,5
  • 12パルスレーザー堆積法によるペロブスカイト型EuMoO3薄膜の作製東北大金研1,理研CERG2,東北大WPI材料機構3,東大院工4,JST-CREST5 ○(M1C)関 秀悦1,スバンカー チャクラバティー2,小塚裕介1,上野和紀3,川崎雅司1,3,4,5
  •  休憩 16:00~16:15
  • 13Ti1-xCoxO2-dの化学ドーピングによる強磁性制御:電界効果との比較東北大金研1,東北大WPI材料機構2,東大理3,科技機構さきがけ4,東大工5,科技機構戦略6 山田良則1,上野和紀2,福村知昭3,4,袁 洪涛5,6,下谷秀和5,6,岩佐義宏5,6,川崎雅司1,2,5,6
  • 14TiO2/VO2超格子薄膜の金属-絶縁体転移理研CMRG&CERG1,東北大WPI材料機構2,東大工3,ERATO-MF4 渋谷圭介1,川崎雅司1,2,3,十倉好紀1,3,4
  • 15軟X線光電子分光によるV1-xWxO2薄膜の電子状態解析東大院工1,JST-CREST2,理研 CMRG&CERG3,JST-さきがけ4,東大放射光機構5,東北大WPI機構6,ERATO-MF7 ○(PC)坂井延寿1,2,吉松公平1,渋谷圭介3,組頭広志1,4,5,川崎雅司2,3,6,十倉好紀1,3,7,尾嶋正治1,2,5
  • 16トライフェーズエピタキシー法によるデラフォサイト型CuScO2単結晶薄膜の作製と評価東北大金研1,東北大WPI材料機構2,東大院工3,科技機構戦略4 松原雄也1,平賀広貴2,上野和紀2,牧野哲征2,川崎雅司1,2,3,4
  • 17CuMO2(M = Sc, Cr, Mn, Fe, Co)薄膜のエピタキシャル成長と電子構造東北大WPI1,東大院理2,科技機構さきがけ3,中国科学院物理4,東大院工5,科技機構戦略6 平賀広貴1,牧野哲征1,福村知昭2,3,Weng Hongming4,川崎雅司1,5,6
  • 18スパッタ法により堆積したCu2O膜の評価九工大 大平恭右,オンウォナ-アジマン ボアティン,中尾 基
  • 19TiO2ナノチューブのガスセンサ特性の評価(2)阪府大1,長岡技科大2 石井将之1,寺内雅裕2,吉村 武1,中山忠親2,藤村紀文1
  • 20放射光を用いたPET/ITO薄膜引張過程の応力・歪み・電気抵抗同時測定日東電工 待永広宣,佐々木恵梨,水池敦子,武田雄希,下北啓輔,宮崎 司
  • 21Neイオンを用いたMgO薄膜のトラップ準位解析広島大院先端研 末貞和真,宮本真太郎,梶山博司
  • 22熱ルミネッセンス法による酸化物半導体の電子トラップ状態計測広大院先端研1,グエラテクノロジー2 宮本真太郎1,末貞和真1,梶山博司1,中澤 明2
  • 23MgO粒子上への高品質MgO薄膜の低温作製龍谷大1,兵庫工技セ2,タテホ化学工業3 大橋義信1,吉岡秀樹2,清川敏夫3,山本伸一1

6.3 酸化物エレクトロニクス

3月27日 9:00~15:00  会場:B5-BF

27a-BF - 1~11

  • 1InTaO4光触媒表面における水分子の運動について物材機構 押切光丈
  • 2LiFドーピングによるITO成膜中部大工 小林大輔,多賀康訓
  • 3有機EL素子用ITO薄膜の検討新潟大1,東京工芸大2 劉  暢1,中村陽平1,松井博章1,清水英彦1,岩野春男1,福嶋康夫1,永田向太郎1,星 陽一2
  • 4有機金属塗布熱分解法で作製したMgZnO薄膜の特性評価龍谷大1,兵庫工技セ2 中村裕亮1,吉岡秀樹2,山本伸一1
  • 5低電圧スパッタ法により作製したAZO薄膜の特性新潟大1,東京工芸大2 樫出 淳1,名越克仁1,清水英彦1,岩野春男1,川上貴浩1,永田向太郎1,福嶋康夫1,星 陽一2
  •  休憩 10:15~10:30
  • 6AZO/Cu2O構造太陽電池の光起電力特性に対するCu2Oの表面処理の影響金沢工大 OEDS R&D センター 西 祐希,宮田俊弘,南 内嗣
  • 7水を用いた酸化によるCu2O薄膜の作製名工大 ○(DC)梁 剣波,岸 直希,曽我哲夫,神保孝志
  • 8スピンコート法によるp形CuAlO2薄膜の作製と評価新潟大自然研1,新潟大工2,新潟大超域3 萩原篤志1,南 征志2,坪井 望2,3
  • 9RFリアクティブスパッタ法によるNiO薄膜の低酸素分圧成長東理大 総研/理工1,東北大多元研2 石田 淳1,村田芳綱1,秩父重英2,杉山 睦1
  • 10ゾルゲル法によるNiO薄膜の作製と評価和歌山高専 羽田正雄,西村卓馬,岡本拓也,辻本剛平,佐久間敏幸
  • 11酸化物ナノアイランドを用いた光電変換素子の材料評価香川高専 結城広登,桟敷 剛,岡野 寛
  •  昼食 12:00~13:00

27p-BF - 1~8

  • 12スパッタ源反応性スパッタ法によるTiO2薄膜の低温結晶化促進法の検討東京工芸大院 安田洋司,上栗賢人,飛坂真幸,星 陽一
  • 2不純物ドープTiO2光触媒薄膜の特性評価芝浦工大 齋藤寛己,石井智之,小林篤憲,石川博康
  • 3電気泳動法による製膜へのTiO2ナノ粒子の分級効果同志社大院工 川上 亮,伊東一篤,佐藤祐喜,森 康維,足立基齊,吉門進三
  • 4陽極化成法による自己組織化TiO2ナノチューブ電極の光吸収と光電気化学特性電気通信大1,JST さきがけ2 太田朋佳1,山田 灯1,沈  青1,2,豊田太郎1
  • 5ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるNb添加TiO2薄膜の堆積(3)東北大多元研1,住友金属鉱山2 羽豆耕治1アリィ フォウダ1,南風盛将光1,中山徳行2,田中明和2,秩父重英1
  • 6ヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシーによるc面GaN上へのルチル/アナターゼTiO2:Nb薄膜の結晶相選択成長東北大多元研1,住友金属鉱山2 羽豆耕治1,アリィ フォウダ1,中山徳行2,田中明和2,秩父重英1
  • 7PbS量子ドットを吸着したナノ構造TiO2光電極の光電変換特性電通大先進理工1,JSTさきがけ2 八谷聡二郎1,沈  青1,2,豊田太郎1
  • 8アナターゼ型TiO2薄膜の熱電能変調名大院工1,JFCC2,東大総研3,JSTさきがけ4 ○(M2)長尾有記1,吉川 陽1,河本邦仁1,加藤丈晴2,幾原雄一2,3,太田裕道1,4