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13 Semiconductors
A (Silicon) |
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March 17 (Wed.) |
March 18 (Thu.) |
March 19 (Fri.) |
March 20 (Sat.) |
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| Review Lecture 「今後のLSI配線における金属材料技術」 | 16号-D 13:30～17:15 | |||||||
| 13.1 Fundamental Materials Characterization and Evaluation | 16号-C 13:00～16:30 | 16号-C 9:00～12:00 | 16号-C 13:00～16:30 | |||||
| 13.2 Surface | 16号-C 9:00～12:00 | 16号-C 13:00～14:45 | ||||||
| 13.3 Gate Insulator Technology | 体育-P9（Poster Session Only） 15:30～17:30 | 体育-P11（Poster Session Only） 9:30～11:30 | 体育-P13（Poster Session Only） 13:00～15:00 | 体育-P16（Poster Session Only） 9:30～11:30 | ||||
| 13.4 Interconnect Technology | 16号-D 10:00～12:30 | 16号-D 9:00～11:45 | ||||||
| 13.5 Si Process Technology | 16号-D 9:00～12:00 | 16号-D 13:00～17:00 | 16号-D 9:00～12:00 | 16号-D 13:00～18:30 | ||||
| 13.6 Si Devices/Integration Technology | 16号-A 9:00～12:00 | 16号-B 13:00～17:15 | 16号-B 9:00～12:00 | 16号-B 13:15～17:30 | 16号-B 9:00～12:00 | |||
| 13.7 Simulation | 16号-C 9:30～12:00 | |||||||