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| 7 Beam
Technologies |
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| Mar. 27 (Tue.) |
Mar. 28 (Wed.) |
Mar. 29 (Thu.) |
Mar. 30 (Fri.) |
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| AM |
PM |
AM |
PM |
AM |
PM |
AM |
PM |
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| 7.1 X-ray Technologies | F棟-B（Poster with short presentation） 9:00～10:45 | F棟-A（Poster with short presentation） 13:00～14:35 | ||||||
| 7.2 Electron Microscopy and Diagnostics | D棟-SH 9:00～12:00 | D棟-SH 13:00～14:45 | ||||||
| 7.3 Lithography | D棟-SH 10:00～13:00 | D棟-SH 14:00～18:00 | ||||||
| 7.4 Nanoimprint | D棟-SL 10:00～13:00 | D棟-SL 14:00～17:30 | ||||||
| 7.5 Beam Excitation Surface Reaction | D棟-SA 14:00～18:30 | |||||||
| 7.6 Ion Beam Technology | D棟-ZV 9:00～12:00 | D棟-ZV 13:00～18:30 | ||||||
| 7.7 Micro-Field Emitter | D棟-ZV 10:00～13:00 | D棟-ZV 14:00～17:30 | ||||||
| 7.8 Beam Application and New Technology | D棟-SA 10:00～12:00 | |||||||