11　Semiconductors A (Silicon)
	Mar. 27 (Tue.)		Mar. 28 (Wed.)		Mar. 29 (Thu.)		Mar. 30 (Fri.)
	AM	PM	AM	PM	AM	PM	AM	PM
11.1 Fundamental Materials Characterization and Evaluation			F棟-K　9:00〜12:00	F棟-K　13:00〜18:00
11.2 Surface	E棟-ZG　9:30〜11:30		F棟-C　9:00〜12:00	F棟-C　13:00〜16:45
11.3 Gate Insulator Technology	E棟-ZH　10:15〜12:00		E棟-ZH　9:00〜12:30	E棟-ZH　13:30〜19:00	E棟-ZH　9:15〜12:30	E棟-ZH　13:30〜18:30	E棟-ZH　9:00〜12:00	E棟-ZH　13:00〜15:00
							E棟-ZK　9:30〜12:15
11.4 Review Lectures and General Session:「LSI多層配線に関するプロセス・信頼性メカニズムと最先端技術」			E棟-ZL　10:00〜12:10	E棟-ZL　13:10〜16:15
11.4 Interconnect Technology					ア-P5（Poster session only）　9:30〜11:30		ア-P9（Poster session only）　9:30〜11:30
11.5 Si Process Technology			D棟-SM　9:30〜12:30	D棟-SM　13:30〜18:45	D棟-SM　9:00〜13:00	D棟-SM　14:00〜18:45	D棟-SM　9:00〜13:00	D棟-SM　14:00〜15:00
11.6 Si Devices/Integration Technology	D棟-SC　10:00〜13:00	D棟-SC　14:00〜18:00	E棟-ZQ　9:30〜12:00		E棟-ZQ　9:30〜12:30	E棟-ZQ　13:30〜17:45	D棟-SC　10:00〜12:45
11.7 Simulation			F棟-G　9:30〜12:15	F棟-G　13:45〜16:00