11 Semiconductors A (Silicon)
	Sept. 4 (Tue.)		Sept. 5 (Wed.)		Sept. 6 (Thu.)		Sept. 7 (Fri.)		Sept. 8 (Sat.)
	AM	PM	AM	PM	AM	PM	AM	PM	AM	PM
11Review Lectures and Geneal Sessions: Which Technologies will Achieve a breakthrough for Future ULSI Interconnect					2号-ZQ　10:00〜12:10	2号-ZQ　13:15〜17:00
11.1 Fundamental Materials Characterization and Evaluation			G-ZF　9:30〜12:30	G-ZF　13:30〜18:00
11.2 Surface					G-ZF　9:30〜12:15	G-ZF　13:15〜17:50			G-ZF　9:00〜12:15
11.3 Gate Insulator Technology	2号-ZM　9:45〜13:00	2号-ZM　14:00〜17:00	2号-ZQ　9:30〜12:00		2号-ZM　10:15〜13:00	2号-ZM　14:00〜18:30	2号-ZM　9:30〜12:45	2号-ZM　14:00〜18:00	2号-ZM　9:15〜12:30
11.4 Interconnect Technology	G-B　10:00〜12:00	G-B　13:00〜18:00	G-B　9:00〜12:00
11.5 Si Process Technology	体育-P2 (poster session only)　9:30〜11:30		体育-P6 (poster session only)　9:30〜11:30		体育-P10 (poster session only)　9:30〜11:30
11.6 Si Devices/Integration Technology				G-ZE　13:30〜17:30	G-ZE　9:15〜12:00		2号-ZL　10:00〜13:00	2号-ZL　14:00〜19:00	2号-ZL　9:00〜12:00	2号-ZL　13:00〜15:00
11.7 Simulation							G-ZE　9:45〜12:30	G-ZE　14:00〜17:00