11 Semiconductors A (Silicon)
	Mar. 22 (Wed.)		Mar. 23 (Thu.)		Mar. 24 (Fri.)		Mar. 25 (Sat.)		Mar. 26 (Sun.)
	AM	PM	AM	PM	AM	PM	AM	PM	AM	PM
11.1 Fundamental Materials Characterization and Evaluation	7-V 9:30〜12:30	7-V 13:30〜17:00	7-V 9:30〜12:30
11.2 Surface							14-P7 (poster session only) 9:30〜11:30		14-P10 (poster session only) 9:30〜11:30
11.3 Gate Insulator Technology				7-V 13:30〜19:00	7-V 9:30〜12:30	7-V 13:30〜18:45	7-V 9:30〜12:30	7-V 13:30〜19:00	7-V 9:30〜12:30
11.4 Review Lectures and General Session: What's going on in Cu/Low-k technologies			8-C 10:00〜12:05	8-C 13:00〜17:45
11.4 Interconnect Technology					8-J 10:00〜13:00	8-J 14:00〜18:30	8-J 9:00〜13:00
11.5 Si Process Technology	7-W 9:30〜12:30	7-W 13:30〜17:15	7-W 9:30〜12:30	7-W 13:30〜18:00	7-W 9:00〜12:30	7-W 13:30〜17:45
11.6 Si Devices/Integration Technology			7-X 9:30〜12:30		7-X 9:30〜12:30	7-X 13:30〜18:45	7-X 9:30〜12:30	7-X 13:30〜19:00	7-X 9:00〜12:00	7-X 13:00〜15:00
11.7 Simulation				7-X 13:30〜17:30