11　半導体A（シリコン）
	8月29日（火）		8月30日（水）		8月31日（木）		9月1日（金）
	午前	午後	午前	午後	午前	午後	午前	午後
11.1 基礎物性・評価						コ-ZN　13:00〜18:00
11.2 半導体表面	コ-ZN　10:00〜13:00	コ-ZN　14:00〜16:30
11.3 絶縁膜技術			ジム-P5（ポスターセッションのみ）　9:30〜11:30		ジム-P10（ポスターセッションのみ）　9:30〜11:30	ジム-P12（ポスターセッションのみ）　13:00〜15:00
11.4 分科内総合講演「LSI多層配線の発展史と最先端技術」	コ-ZW　10:00〜12:10	コ-ZW　13:10〜16:45
11.4 配線技術			コ-ZN　10:00〜13:00	コ-ZN　14:00〜19:00	コ-ZN　9:00〜12:00
11.5 Siプロセス技術	コ-ZQ　10:00〜13:00	コ-ZQ　14:00〜17:30	コ-ZQ　10:00〜13:00	コ-ZQ　14:00〜19:00	コ-ZQ　10:00〜12:45	コ-ZQ　14:00〜18:45
11.6 Siデバイス/集積化技術	コ-ZR　10:00〜13:00	コ-ZR　14:00〜16:30	コ-ZR　10:00〜13:00	コ-ZR　14:00〜17:15	コ-ZR　10:00〜13:00
11.7 シミュレーション						コ-ZR　14:00〜18:30