11　半導体A（シリコン）
	3月28日（日）		3月29日（月）		3月30日（火）		3月31日（水）
	午前	午後	午前	午後	午前	午後	午前	午後
#分科内総合講演			片柳-YG　10:10〜11:40	片柳-YG　13:00〜17:25
11.1 基礎物性・評価							研B-ZG　9:00〜12:00	研B-ZG　13:00〜14:45
11.2 半導体表面					講C-B　9:00〜12:00	講C-B　13:00〜18:30	講C-B　9:00〜12:00	講C-B　13:00〜15:00
11.3 絶縁膜技術	講C-C　9:00〜12:00	講C-C　13:00〜18:00	講C-C　9:00〜12:00	講C-C　13:00〜18:15	講C-C　9:00〜12:00	講C-C　13:00〜18:15	講C-C　9:00〜12:00	講C-C　13:00〜15:00
					講C-D　9:00〜12:15	講C-D　13:15〜19:00
11.4 配線技術	体-P2（ポスターセッションのみ）　9:30〜11:30	体-P3（ポスターセッションのみ）　13:00〜15:00
		体-P5（ポスターセッションのみ）　15:30〜17:30
11.5 Siプロセス技術	研B-ZG　9:30〜12:15	研B-ZG　13:30〜17:45	研B-ZG　9:30〜12:15	研B-ZG　13:30〜17:30	研B-ZG　9:30〜12:30	研B-ZG　13:30〜17:45
11.6 Siデバイス/集積化技術	研B-ZH　9:30〜12:15	研B-ZH　13:30〜17:30	研B-ZH　9:30〜12:30	研B-ZH　13:30〜18:30	研B-ZH　9:30〜12:15
11.7 シミュレーション		講C-B　13:00〜16:30