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1　放射線･プラズマエレクトロニクス
1.1 放射線・加速器・原子炉
3月28日　9:00〜17:45
28a-S-　/ I
　 1 多機能精密イオンビーム実験装置の開発と利用 阪大院工　○口丸高弘，飯田敏行，佐藤文信
　 2 イオン加速器の遠隔利用システムの構築 阪大工1，核融合研2，摂南大工3　○石川一平1，山岡大輔1，佐藤文信1，飯田敏行1，田中照也2，山本淳治3，奥田拓治3，川崎大輔3
　 3 高速クラスターイオンを用いた2次荷電粒子測定 原研高崎1，京大院工2，産総研3　○斎藤勇一1，千葉敦也1，柴田裕実2，平田浩一3，伊藤秋男2
　 4 イオン散乱分光測定用冷却型Si半導体検出器システムの開発 阪大工　○小松利光，飯田敏行，佐藤文信
▲ 5 180MeV/u 12C イオンに対する過熱液滴型検出器の応答 北大院工1，放医研2　○Mala DAS1，本間　彰1，安田仲宏2，脇坂雅志1，白石和正1，澤村晃子1
　 6 複数のX線検出器によるマイクロPIXE分析の効率化 原研高崎1，レイテック2　○酒井卓郎1，佐藤隆博1，及川将一1，野宮聖一郎2
　 　休 憩 10:30〜10:45 　
　 7 X線照射した絶縁材料のくり返し変形における発光 金沢大・工　○中村昭一，出戸伸幸，大角富康，稲部勝幸
　 8 CaSO4:Tmの多成分からなるグロー曲線から求めた活性化エネルギーと頻度因子 立教大理1，駒澤大医健2　○眞正浄光1，鈴木雄太1，山本裕右2，漆山秋雄1
　 9 熱ルミネセンス素子、CaSO4:Dyのグロー曲線の成分解析 立教大理1，駒澤大医健2　○鈴木雄太1，眞正浄光1，山本裕右2，漆山秋雄1
　 10 CaF2:Tb,Smの熱蛍光特性（II) 大産大人環　○福田和悟
　 11 X線損傷によるBaFBr1-xIx:Eu2+蛍光体のPSL劣化 富士写真フイルム　○加藤宗貴，礒田勇治，松本宏志，岩渕康夫，細井雄一
　 　 　 　
1.1 放射線・加速器・原子炉
3月28日　12:00〜17:45
28p-S-　/ I
　 　昼 食 12:00〜13:00 　
　 1 医学診断用X線写真に対する視覚のエッジ強調効果 京工繊大名誉教授1，近大附病中放2，阪大院医3，京警科捜研4　○金森仁志1，浅井義行2，若江祐子2，窪田英明3，尾崎吉明4，松本政雄3
　 2 コンプトンカメラ設計で重要となるイメージング画像ノイズ特性 放医研　画像医学部　○平澤雅彦，富谷武浩
　 3 高エネルギーガンマ線指向性検出器の開発(1) 名大工1，産総研2　○見城弘章1，河原林　順1，渡辺賢一1，井口哲夫1，豊川弘之2，瓜谷　章2
　 4 プラズマCVD法による薄膜/セラミクス構造の放射線センサーの開発 北大医1，道能開大2，室工大工3，京セミ4　○下妻光夫1，吉野正樹2，伊達広行1，友澤秀征4，伊藤秀範3
　 5 イオンビーム照射下におけるAl2O3結晶中の電荷挙動 阪大工1，核融合研2　○永安　怜1，田中照也2，佐藤文信1，飯田敏行1
　 6 RISA検出器の開発−シミュレーションによる動作解析− 北大医1，京セミ2，核燃料サイクル開発機構3，東京海大4，東大院工5　○伊達広行1，友澤秀征2，辻村憲雄3，賞雅寛而4，岡本孝司5，下妻光夫1
　 7 重荷電粒子に対する気体の電離収率の測定IV 高エ研1，放医研2　○佐々木慎一1，佐波俊哉1，俵　裕子1，斎藤　究1，飯島和彦1，安田仲宏2，福村明史2
　 8 高圧キセノンガス中の電子の拡散過程と水素の混合効果 早大理工総研1，埼玉県大2，モスクワ工科物理大3　○小林進悟1，五十嵐　努1，手塚千幹1，道家忠義1，長谷部信行1，細島岳大1，プーシュキンキリル1，三村光輝1，宮島光弘1，宮地　孝1，柴村英道2
　 　休 憩 15:00〜15:15 　
　 9 高圧キセノンガスのシンチレーション光の測定 早大理工総研1，埼玉県大2，モスクワ工科大3　○手塚千幹1，長谷部信行1，小林進悟1，五十嵐　努1，柴村英道2，宮島光弘1，道家忠義1，プーシュキンキリル1,3，三村光輝1，宮地　孝1，細島岳大1
　 10 混合希ガスシンチレーション　II 高エネ研1，埼玉県立大・短大2　○齋藤　究1，佐々木慎一1，俵　裕子1，佐波俊哉1，柴村英道2
△ 11 CdTe表面へのInショットキー電極形成におけるプラズマ処理の効果 琉球大・工1，アクロラド2　○當山広幸1，武島　康1，山里将朗1，比嘉　晃1，大野良一2，渡久地　實1
　 12 CdTeへのレーザードーピングにおける欠陥の生成とInドーピング 静岡大電子研1，愛知工科大工2　○青木　徹1，volodymyr Gnatyuk1，坂下大祐1，石田　悠1，畑中義式2，天明二郎1
　 13 512ピクセルリニアセンサー用CdTe放射線検出デバイスの作製と評価 静岡大電子研1，愛知工科大工2，浜松ホトニクス3　○坂下大祐1，石田　悠1，Volodymyr Gnatyuk1，青木　徹1，畑中義式2，富田康弘3，天明二郎1
　 14 エネルギー弁別型CdTe X線イメージングデバイスの開発 静岡大電子研1，浜松ホトニクス2，愛知工科大工3，静岡大イ共研セ4　○青木　徹1，富田康弘2，坂下大祐1，石田　悠1，Volodymyr Gnatyuk1，畑中義式3,4，天明二郎1
　 15 PVT法によるCd1-xZnxTe(x〜0.04)膜の作製 石巻専大理工1，東北工大2　○高橋純一1，人見啓太郎2，庄司忠良2，望月勝美1
　 16 臭塩化タリウム結晶の育成と評価（II) 東北工大1，石巻専修大2　○小野寺敏幸1，沼田知之1，人見啓太朗1，庄司忠良1，平舘幸男1，望月勝美2
　 17 近接昇華法CdZnTe 膜を変換層とするX線パネル検出器 島津製作所 基盤研　○徳田　敏，岸原弘之，佐藤敏幸
　 18 高分解能Schottky型CdTe検出器で測定した乳房用X線装置のスペクトルの比較 阪大院医1，広国大保健医療2，京工繊大名誉教授3　○松本政雄1，前田浩志1,2，松尾　憲1，金森仁志3
　
1.1 放射線・加速器・原子炉
3月29日　9:30〜11:30
29a-ZX-　/ I
　 1 DIS線量計を用いた環境線量測定 金沢工大　高材研1，長瀬ランダウア2，金沢大　自然計測3　○倉田順弘1，更井　発1，久保田直義1，竹井義法1，南戸秀仁1，小森宏信2，小林育夫2，小村和久3
　 2 液体キセノンを用いたPET検出器の開発IV 早大理工総研1，東大2　○錦戸文彦1，道家忠義1，菊池　順1，森　俊則2，滝沢京子1，高田浩祐1
　 3 液体キセノンの屈折率の測定−2 横国大工1，高エ研2，東大宇宙線研他3　○橋本安章1，小田晋太郎1，日下部泰良1，小林尚史1，斉藤　究2，佐々木慎一2，俵　裕子2，中村正吾1，春山富義2，福田泰二1， XMASS Collaboration3
　 4 ベータ線磁気スペクトロメータの設計 北里大院1，佐賀県シンクロ光研セ2，北里大医療衛生3　○戸塚　圭1，喜久村　力1，濱田　稔1，吉田勝英2，丸山浩一3
　 　休 憩 10:30〜10:45 　
　 5 放射線誘起ラジカルのキャビティーリングダウンレーザー分光計測に基づく強放射線場リモートセンシング手法の開発 名大工　○富田英生，渡辺賢一，河原林　順，井口哲夫
　 6 半導体検出器と位置敏感型比例計数管からなる中性子スペクトロメータの開発 産総研　松本哲郎，○瓜谷　章，原野英樹，片野　元，工藤勝久
　 7 液体ライトガイドの放射線分布センサーとしての適用性評価 名大工　○水野良治，河原林　順，渡辺賢一，井口哲夫
　
1.1 放射線・加速器・原子炉
3月30日　9:30〜11:30
30a-ZT-　/ I
　 1 Ge検出器とスターリング冷凍機を用いた月探査衛星搭載用ガンマ線分光計 早大理工総研1，埼玉県大2　○奥平　修1，長谷部信行1，柴村英道2，宮地　孝1，小林正規1，山下直之1，平本卓嗣1，村澤　哲1
　 2 陽子ビームに対するRRMD-IIIの応答評価 早大理工総研1，放医研2　○布施哲人1，道家忠義1，菊池　順1，鈴木　聡1，寺沢和洋1，内堀幸夫2，北村　尚2
　 3 単色陽子線及びSPE疑似放射線場におけるJAXA積算線量計(PADLESS)の測定結果 宇宙航空研究開発機構1，高エネ研2，エイ・イー・エス3，放医研4，Eril Research, Inc.5　○永松愛子1，俵　裕子1,2，熊谷秀則3，内堀幸夫4，Eric Benton5
　 4 速中性子線量計測用・小型化シンチレーション・ファイバー・スタック
の基本特性		 早大理工総研1，宇宙航空研究開発機構2　○寺沢和洋1，道家忠義1，菊池　順1，長谷部信行1，松本晴久2，布施哲人1
　 　休 憩 10:30〜10:45 　
　 5 受動積算型線量計を用いたISSロシアサービスモジュール内の宇宙放射線測定　IV エイ・イー・エス1，宇宙航空研究開発機構2，高エネ研3，日揮4，日本放送協会5　○熊谷秀則1，加藤充康2，益川充代2，永松愛子2，俵　裕子2,3，横田明俊4，藤井隆弘4，山崎順一5，山内正仁5
　 6 CR-39飛跡検出器を用いたFe核同位体分離に関する研究(II) 早大理工総研1，放医研2，日大生産工3，KEK4　○小平　聡1，安田仲宏2，小倉紘一3，長谷部信行1，俵裕子4，道家忠義1，浅枝真行1，北川敦志2，佐藤眞二2，内堀幸夫2，北村　尚2
　 7 ECCO計画におけるGCR超重核粒子トラッキングを目的としたBP-1ガラス飛跡検出器ピンホール検出法の開発-3 横国大工1，東邦大理2，高エ研3，早大理工総研4，放医研5　○鎌田真太郎1，内田佳宏1，北野恭史郎1，北村貴志1，関口　舞2，俵　裕子3，道家忠義4，中村正吾1，並木佳世子2，安田仲宏5，渡邉裕也1
　 　 　 　
1.2 プラズマ生成技術およびプラズマ源

3月28日　9:00〜12:00
28a-L-　/ I
　 1 ひだ状のプラズマ・誘電体界面の表面波伝播への効果 芝浦メカトロニクス1，名大工2　○Ivan Ganachev1，野尻康弘2，菅井秀郎2
▲ 2 2.45GHz表面波プラズマの誘導体窓近傍の電子エネルギー分布関数の空間変化 名大工　○スタマテエウジェン，中尾禎子，荒巻光利，河野明廣，菅井秀郎
△ 3 915MHz表面波プラズマの石英板近傍における高エネルギー電子の発光分光分析 名大工　○中尾禎子，スタマテユウジェン，菅井秀郎
△ 4 大面積プロセス用のマイクロ波プラズマのアンテナ結合系の最適化 名大工　○高須一泰，野尻康弘，劉　明海，石島達夫，菅井秀郎
△ 5 同軸型平板状マイクロ波ランチャーの電磁界解析と大面積プラズマ生成への応用 静大工1，ニッシン2　○内藤克俊1，三宅正人1，南光正平2，永津雅章1
▲ 6 大口径表面波プラズマ中の電子ビームにより生成される磁場の測定法に関する考察 静大院電子科研1，静大院理工研2　シリーミラン1，テレベシティボー1，吉川昭裕2，○神藤正士1,2
　 　休 憩 10:30〜10:45 　
　 7 RLSAマイクロ波プラズマ源の数値モデル解析とプローブ診断 名工大院1，京大院(工）2，東京エレクトロン3，東京エレクトロンAT4　○上坂裕之1，斧　高一2，梅原徳次1，沢田郁夫3，石橋清隆4
　 8 高誘電率放電管を用いた表面波プラズマの生成 東海大電子情報1，京セラ2，ミツミ電機3　○藤原和也1，藤田　匡1，鈴木厚弘2，池田泰志2，鈴木　務3，深沢孝之1，進藤春雄1
　 9 超小型衛星用推進器のためのマイクロ波励起超小型プラズマ源の解析 京大工　○鷹尾祥典，斧　高一，高橋和生，節原裕一
　 10 電子サイクロトロン共鳴イオン源生成鉄多価イオンのβ-FeSi2創製プロセスへの適用 富山県大工　○冨田雅士，稲川知里，関口　康，加藤裕史
　 11 TE01モードマイクロ波共振器を用いた電子サイクロトロン共鳴プラズマイオン源の遮蔽板位置依存性 富山県大工1，立山マシン2　○古木秀幸1，佐々木　浩1，加藤裕史1，浅地豊久2
　 　 　 　
1.2 プラズマ生成技術およびプラズマ源
3月28日　12:00〜16:45
28p-L-　/ I
　 　昼 食 12:00〜13:00 　
　 1 低インダクタンス型マルチ内部アンテナを用いたメートル級大面積プラズマ源の開発 京大院工1，イー・エム・ディー2　○節原裕一1，杉浦慎哉1，中村浩樹1，高橋和生1，斧　高一1，江部明憲2
　 2 大面積プラズマ生成用折り返しモノポールアレーアンテナの設計 東北大大学院工1，石川島播磨重工業2　○佐藤弘康，玉城克彰，高木朋子，上田　仁，渡部　嘉，澤谷邦男
　 3 RCTモデルとQTEモデルによるICPのポテンシャル分布のシミュレーション 慶大理工　○佐藤俊和，真壁利明
　 4 ウェハ構造が二周波CCPに与える影響に関するモデリング 慶大　山口寧彦，○真壁利明
　 5 並列プログラミングを用いたRFグロー放電のPIC/MCシミュレーション 室工大　○丸　　篤，佐藤孝紀，伊藤秀範，田頭博昭
　 6 小型同軸電極を用いた大気圧マイクロプラズマの特性 東北大院工　○田中康裕，飯塚　哲
　 7 高圧電極マイクロ波放電の電極加熱 静大院理工研1，静大工2　木村慎佑1，江藤昭弘2，松尾廣伸2，○神藤正士1,2
　 　休 憩 14:45〜15:00 　
　 8 大気圧マイクロ波H2Oプラズマ源の開発 武蔵工大　○松尾雄平，福光正樹，小野　茂，堤井信力
　 9 薄型導波管を用いたマイクロ波ラインプラズマの生成 東海大学電子情報1，アドテックプラズマテクノロジ2　○深沢孝之1，藤井修逸2，進藤春雄1
　 10 閉チャンバー内マイクロギャップ放電のガス温度のガス流量依存性 名古屋大学工学研究科1，名古屋大学工学研究科2，名古屋大学工学研究科3，名古屋大学工学研究科4　○王　剣亮1，岩本一成2，荒巻光利3，河野明廣4
△ 11 走査型大気圧マイクロプラズマジェットによるパターンエッチング 東洋大院工1，東大院工2，JST PRESTO3　○出野琢也1，一木隆範2,3
　 12 高周波バリア放電による大気圧プラズマの発生 高知工科大学　○青木祐典，朝山淳哉，吉村紘明，八田章光
　 13 大気圧誘電体バリア放電におけるglow様形態の機構解析 京大工1，京大IIC2，ハイデン研究所3　○染川貴亮1，酒井　道1，白藤　立2，橘　邦英1，松永浩一3
　 14 ダイヤモンド陰極を用いたSEM内での直流マイクロプラズマの発生 高知工科大　○朝山淳哉，青木祐典，吉村紘明，八田章光
　 　 　 　
1.3 反応性プラズマの診断と計測
3月30日　10:00〜13:00
30a-YC-　/ I
▲ 1 DCおよびRF放電によるAr/SF6とO2プラズマの感熱プローブ測定 名大　○スタマテエウジェン，村田拓馬，菅井秀郎
△ 2 マイクロ波励起酸素プラズマに対する希ガスの混入効果 東工大原子炉研　○直井浩一，坂本武士，北村直久，松浦治明，赤塚　洋
　 3 マイクロ波パルスで生成される平板状表面波プラズマのプローブ測定 静大SBVL1，静大院理工研2　○荻野明久1，渥美智久2，神藤正士2
　 4 銅スパッタプラズマにおけるプラズマ計測 中部大工1，名大工2，アネルバ3　○中村圭二1，Nafarizal N.2，佐々木浩一2，吉田達彦3
　 5 量産機モニタ用の高感度プラズマセンサ ( 2 ) 中部大工1，名大工2　○中村圭二1，河合　啓2，矢島　壮2，菅井秀郎2
　 　休 憩 11:15〜11:30 　
　 6 大気圧希薄プラズマ計測プローブの周波数応答 武蔵工大　○松村昭作
　 7 レーザー誘起蛍光減光法によるAr及びAr/SF6プラズマの高感度シース電界計測 名古屋大工　滝澤一樹，○佐々木浩一，河野明廣
△ 8 マグネトロンスパッタリングプラズマ中の原子速度分布の二次元LIF画像計測 名大工　○柴垣寛治，Nayan Nafarizal，佐々木浩一，豊田浩孝，岩田　聡，加藤剛志，綱島　滋，菅井秀郎
△ 9 Arプラズマのトムソン散乱計測におけるレーザー擾乱効果 名大工　○崔　秀明，山田章博，河野明廣
　 10 レーザートムソン散乱による表面波プラズマ誘電体近傍の電子エネルギー分布の空間分布計測 名大工　○小林淳也，Eugen Stamete，荒巻光利，河野明廣，菅井秀郎
　 11 PDPマイクロ放電プラズマ計測のための赤外レーザートムソン散乱システムの開発 九大総理工1，三星綜合技術院 MD Lab2　○富田健太郎1，Safwat Hassaballa1，金　榮奇1，内野喜一郎1，村岡克紀1，畑中秀和2，金　永模2，李　聖儀2，孫　承賢2，藏　尚勲2
　 　 　 　
1.3 反応性プラズマの診断と計測
3月31日　9:00〜12:00
31a-ZY-　/ I
　 1 CT-OESを用いたCF4/Ar-ICP中におけるSi(41P1)及びSiF(A2Σ+)の時空間構造診断 慶大総デ　○三好康史，宮内　優，小國　厚，小向康夫，真壁利明
　 2 有機low-k膜エッチング用N2/H2-ICPの発光分光CT診断（I) 慶應大理工　○宮内　優，小国　厚，三好康史，小向康夫，真壁利明
　 3 2周波平行平板パルスプラズマを用いたホール酸化膜エッチングにおけるチャージングダメージ(IV) - パルスバイアス使用時でのチャージング電圧時間変化 - 慶応大1，富士通研2，防衛大3　○大森健史1，赤池　匠1，後藤　剛1,2，北嶋　武1,3，真壁利明1
△ 4 窒素添加高密度プラズマにおける窒素ラジカルの生成及び制御 名大工　○石島達夫，Sebastien Frederico，本田善央，菅井秀郎
△ 5 大気圧同軸型マイクロギャッププラズマ中のガス温度計測 名大工　○永井幹雄，堀　　勝，後藤俊夫
　 　休 憩 10:15〜10:30 　
　 6 表面波励起Kr/O2プラズマにおける酸素ラジカルの挙動 名大・工　○生熊聡一，久保田良規，堀　　勝，後藤俊夫
　 7 異なる結晶性を持った光触媒性TiO2薄膜成膜時のアーチ状ECRプラズマ分光測定 富山県大工　○吉永隆史，金原慎一郎，加藤裕史
　 8 希ガス希釈O2プラズマ中の酸素原子密度測定 防衛大　○北嶋　武，中島淳太，中野俊樹
　 9 希ガス発光分光法によるHeホローカソードマイクロプラズマの電子温度の推定 防衛大　○中野俊樹，京都大介，北嶋　武
　 10 大気圧CVMプラズマによるSiウエハのエッチング加工プロセスの分光診断　- 発光および蛍光分光による加工雰囲気と生成物の評価 - 阪大院工　○押鐘　寧，佐藤慎也，長尾明彦，山村和也，遠藤勝義
　 11 有機シランによる薄膜堆積(4) RFプラズマの発光分光分析 室蘭工大　○佐々木　敦，青柳紘人，範　業宏，伊藤秀範，佐藤孝紀，田頭博昭
　 　 　 　
1.3 反応性プラズマの診断と計測
3月31日　12:00〜15:30
31p-ZY-　/ I
　 　昼 食 12:00〜13:00 　
　 1 N2ガスRFプラズマ支援PLD法による炭素プルームと薄膜の診断 北大工　○佐倉伸和，M.A. Bratescu，酒井洋輔，須田善行
　 2 磁性薄膜堆積用マグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子測定 名大工　松井洋樹，○豊田浩孝，柴垣寛治，佐々木浩一，加藤剛志，岩田　聡，綱島　滋，菅井秀郎
△ 3 水素添加表面波プラズマを用いた低温シリコン酸化における酸素ラジカル制御 名大工　○田辺雄二，石島達夫，菅井秀郎
　 4 イオン付着質量分析計(IAMS)によるSiH2ラジカルの計測 アネルバテクニクス1，東農工大院BASE2，東農工大農3　○中村　恵1,2，種田康之1，平野芳樹1,2，塩川ヨシロウ1，高柳正夫3，中田宗隆2
△ 5 c-C4F8プラズマ中におけるPTFEからのPFCガス放出量の顕著な増大 九大院総理工　○雪田　忍，古屋謙治，原田　明
　 　休 憩 14:15〜14:30 　
　 6 メタンプラズマを用いた薄膜形成過程における炭化水素の結合状態の赤外分光法観察 長崎大工　○篠原正典，片桐輝昭，岩辻圭太郎，倉本宰弘，松田良信，藤山　寛
　 7 水素プラズマ・カーボン壁表面相互作用により発生するナノ微粒子の検出 九大シス情1，核融合研2　○北浦靖寛1，上原龍児1，古閑一憲1，白谷正治1，渡辺征夫1，小森彰夫2
　 8 ヘリコン波水素プラズマ中の水素原子温度の時空間分布 名大工　○奥村裕司，荒巻光利，佐々木浩一
　 9 プラズマ発光分光による銅スパッタプロセス中の原子密度評価 成蹊大工　○中野武雄，田中幸治，馬場　茂
　 　 　 　
1.4 プラズマ応用プロセス
3月28日　9:00〜12:00
28a-G-　/ I
　 1 パルス電解プラズマCVDを用いたポリシリコン薄膜の作成（II） 東北大学　学際センター1，積水化学工業2　○北畠弘達1，末光真希1，北畠裕也2，中嶋節男2，湯浅基和2
△ 2 VHF容量結合型プラズマによる有機基板上へのSiN膜の低温形成における励起周波数効果 名大・工1，ユーテック2　○石田哲朗1，太田貴之1，堀　　勝1，後藤俊夫1，多田重和2
　 3 RFグロー放電によるSiC膜堆積と発光分光診断 室蘭工大1，北大2　○青柳紘人1，佐々木　敦1，佐藤考紀1，伊藤秀範1，田頭博昭1，下妻光男2
　 4 PIG式プラズマCVDによる非晶質炭素薄膜の作製とそのガスバリア性能 大阪府立産技研　○松永　崇，岡本昭夫，野坂俊紀
　 5 表面波励起水素/シランプラズマにおけるシリコン膜への酸素不純物混入の抑制 名大工　宗宮　暁，○豊田浩孝，堀田芳彦，菅井秀郎
　 　休 憩 10:15〜10:30 　
　 6 プラズマ異方性CVDによるトレンチ内の銅成膜形状に対するスパッタリングの影響 九大システム情報　○竹中弘祐，竹下　学，古閑一憲，白谷正治，渡辺征夫
　 7 Cu(EDMDD)2を用いたHAPCVDによるCu成膜の活性化エネルギー 九大システム情報1，旭電化工業2　○竹中弘祐1，竹下　学1，古閑一憲1，白谷正治1，渡辺征夫1，神元俊哉2
　 8 C2H2F2ガスを用いた高周波プラズマCVD法による超撥水性薄膜合成 佐賀大理工　○大津康徳，山上暢久，三沢達也，藤田寛治
　 9 マイクロプラズマジェットによる金属ワイヤー溶融・溶射法の開発 産総研　界面ナノ1，東大院　新領域2　○清水禎樹1，佐々木　毅1，寺嶋和夫2，越崎直人1
　 10 放電プラズマ焼結法による複合体の作製 日本理工　○興津大輔，星村義一
　 11 窒素ガスを用いた大気圧直流アークプラズマ源の作動特性とPFCガス分解への応用 大阪大院基礎工1，豊橋技科大2，カンケンテクノ3　○小阪尋昭1，安井利明2，尾上憲一1，吉川孝雄1，塩見建和3，宮下雅彦3，今村啓志3
　 　 　 　
1.4 プラズマ応用プロセス
3月28日　12:00〜17:30
28p-G-　/ I
　 　昼 食 12:00〜13:00 　
　 1 反応性プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成 佐賀大理工1，同志社大工2，産総研3　○大津康徳1，江上正人1，三沢達也1，藤田寛治1，行村　建2，秋山守人3，田原竜夫3
　 2 内部コイル型ICP支援DCスパッタにおけるTiイオン密度測定とイオン化機構の検討 東海大　森　　恒，○沖村邦雄，中村　忠
　 3 内部コイル型ICP支援スパッタによるCoCrTa薄膜の配向成長(IV) 東海大　小柳淳哉，○沖村邦雄
　 4 RFマグネトロンCuスパッタリングプロセスのモデリング 慶應義塾大　○峰　輝幸，黒岩俊二，真壁利明
　 5 多重磁極形直流マグネトロンスパッタ法を用いたNi成膜中における発光スペクトル及びイオンのエネルギー分布 広工大工1，西部工技2　○宮本嗣久1，黒岩武司1，川畑敬志1，梶岡　秀2
△ 6 電子ビーム励起プラズマ法を用いたBN系薄膜の創製 名城大理工　○久米川慶佑，Petros Abraha
　 7 レーザアブレーション法におけるドロップレット抑制用ターゲット構造の開発 名城大理工　○安部修治，Petros Abraha
△ 8 N2ガスを使用したPBII法による滅菌プロセスにおける印加電圧効果 広島工大1，菱明技研2　○池本　努1，中島　建1，渡邉悟志1，田中　武1，高木俊宜1，市来崎哲雄2，塚本頴彦2
　 　休 憩 15:00〜15:15 　
　 9 高濃度オゾンによるポリイミドの表面改質 岩谷産業1，横浜国大院工2　○小池国彦1，井上吾一1，相田敏広1，羽深　等2
　 10 新規なDLC表面フッ素化法の開発 産総研基礎素材1，産総研セラ2　○池山雅美1，宮川草児1，小野泰蔵2
△ 11 高圧力マイクロ波プラズマによる疎水性フルオロカーボン膜コーティング 名大工　○黒田将支，David Mezerette，菅井秀郎
　 12 Single-layer Slotted Waveguide Array(SWA)を用いた角型大面積プラズマ装置によるプラズマ酸化特性 液晶先端技術開発センター1，東工大電気電子工学専攻2　○井出哲也1，佐々木　厚1，東　和文1，中田行彦1，平野拓一2，安藤　真2
　 13 無水フッ化水素ガスを用いたリモートプラズマエッチングにおける希ガス添加効果(III) 成蹊大工　吉川　崇，中村信貴，○齋藤洋司
　 14 水素マイクロ波アフターグロー法によるc-Siのエッチング 東京農工大・工　○吉原直紀，上迫浩一
　 15 大気圧フロン系ガスプラズマによるSiO2膜エッチングと気相診断(III) 名大工1，積水化学2　○鈴木　彰1，堀　　勝1，後藤俊夫1，北畠裕也2，湯浅基和2
△ 16 マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速エッチングプロセス(IV) 名大工1，片桐エンジニアリング2，NUエコエンジニアリング3　○山川晃司1，堀　　勝1，田　昭治2，片桐俊郎2，加納浩之3
　 17 パルス変調電子ビーム励起プラズマを用いたマイクロマシニングプロセス 和大シス工1，名大工2　○留河　裕1，岩脇正博1，竹田圭吾1，伊藤昌文1，太田貴之2，山川晃司2，堀　　勝2，後藤俊夫2
　 　 　 　
1.5 プラズマプロセスによるナノテクノロジー
3月31日　9:00〜12:00
31a-YC-　/ I
　 1 液中アーク放電法による単層カーボンナノチューブ・ナノホーンの合成 姫工大工　○佐野紀彰，中野　潤
　 2 水中放電型アークプラズマによるカーボンナノチューブの生成とプラズマの分光観測 武蔵工業大学　○佐藤和明，小野　茂，提井信力
　 3 高圧電極マイクロ波放電によるカーボンナノチューブの生成 静大工1，静大院理工研2　江藤昭弘1，木村慎佑2，松尾廣伸1，○神藤正士1,2
　 4 大気圧微小放電によるカーボンナノチューブの局所CVD成長 鶴岡高専1，東北大院工2　○吉木宏之1，畠山力三2
　 5 大気圧マイクロプラズマジェットによる炭素系ナノ構造の作製 埼大・院・理工1，埼大・工2，理研3　○菊地智幸1，山田洋人2，長谷川靖洋1，小林知洋3，白井　肇2
　 　休 憩 10:15〜10:30 　
　 6 ヘリコン波放電プラズマを用いたナノカーボンの創製 東北大院工　佐藤玄太，○加藤俊顕，鄭　求桓，平田孝道，畠山力三
　 7 フラーレンイオンプラズマを利用したフラーレンダイマー形成 東北大工　○岩田　浩，大原　渡，畠山力三
　 8 C60固体のプラズマ処理 - イオン照射エネルギーの効果 - 茨城大工　○佐藤直幸，斎藤　大，池畑　隆
　 9 トカマク型核融合装置JT−60の黒鉛第一壁タイル上カーボン堆積層のナノ構造（3） 原研那珂　○後藤純孝，新井　貴，正木　圭，石本祐樹，児玉幸三，宮　直之
　 10 窒化インジウム薄膜のEC反応における律速因子 名大工1，名大院工2，名大環境量子セ3，名大理工総研セ4　○長谷川和宏1，山口　敦2，藤原卓矢2，井上泰志3，高井　治4
　 11 斜め堆積法を用いた窒化インジウム薄膜の柱状晶形状の制御(2) 名大院工1，名大環境量子セ2，名大理工総研セ3　○藤原卓矢1，山口　敦1，長谷川和宏1，井上泰志2，高井　治3
　 　 　 　
1.6 プラズマ現象一般
3月28日　10:00〜13:00
28a-YM-　/ I
　 1 ネオンを用いた陽光柱放電に関する自己無撞着な高精度モンテカルロシミュレーション 阪大レーザー研　○籔下英里奈，Vasilii Zhakhovskii，西原功修
　 2 干渉計測によるレーザー生成プラズマの電子密度プロファイル測定 原研関西1，放医研2，京大化研3，東大物性研4　○匂坂明人1，大道博行1，福見　敦1,2，松門宏治1,2，小倉浩一1，織茂　聡1，林　由紀雄1，西内満美子1，森　道昭1，黎　　忠1,2，中村　衆3，高垣賢一1，間　久直1，鈴木将之4，内海隆行1
　 3 強結合微粒子プラズマにおける熱励起波のスペクトル 九大シス情1，マックスプランク研究所2　○布村正太1，Sergei Zhdanov2，Dmirty Samsonov2，Greg Morfill2
　 4 マグネトロンスパッタリングプラズマにおける金属原子のイオン化過程 名大工1，中部大工2，アネルバ3　○Nayan Nafarizal1，柴垣寛治1，佐々木浩一1，中村圭二2，吉田達彦3
△ 5 マイクロ波励起体積波プラズマの医療滅菌への応用 静大工1，浜松医科大2，ニッシン3，ジーマ4　○寺下文恵1，野中雄之1，徐　　蕾1，永田　年2，小出幸夫2，南光正平3，久保田　彰4，永津雅章1
　 6 正と負のクラスターイオンによる空気中浮遊アレルゲンの失活効果特性 シャープ電化開C1，広大院先端物質研究科2　○西川和男1，米田哲也1，大下昌利2，福岡宣彦2，重田征子2，秋　庸裕2，小埜和久2
　 　休 憩 11:30〜11:45 　
△ 7 誘電体による部分被覆電極を用いた二重放電型オゾン発生器 佐賀大理工　○金田俊一，山部長兵衛
　 8 オゾナイザ放電空間の光学的温度測定 佐賀大理工　○永石孝幸，木村裕亮，猪原　哲，林　信哉，佐藤三郎，山部長兵衛
△ 9 マイクロセル中高周波放電におけるガス圧およびギャップ長の影響 都立大工　○内田　諭，杤久保文嘉，渡辺恒雄
　 10 高周波駆動プラズマディスプレイにおけるマイクロ放電シミュレーション 都立大工　平沼雅裕，○内田　諭，杤久保文嘉，渡辺恒雄
　 11 大気圧Arマイクロセルプラズマのモデリング 慶大　堀内康弘，○Jan Van Dijk，真壁利明
　 　 　 　
1.6 プラズマ現象一般
3月28日　13:00〜16:45
28p-YM-　/ I
　 　昼 食 13:00〜14:00 　
　 1 プラズマディスプレイ設計のためのマイクロ放電モデリング 東北大1，JST2　○三坂孝志1，川野聡恭1,2
　 2 ホローカソード型マイクロ誘電体バリア放電の集積構造(II)　ガス流れの効果 京都大学工学研究科電子工学専攻　○岸本諭卓，酒井　道，谷川真理子，橘　邦英
　 3 ホローカソード型マイクロ誘電体バリア放電の集積構造（I）放電特性 京都大工　○酒井　道，岸本諭卓，白藤　立，橘　邦英
　 4 バリア放電壁電位の時間・場所依存性 山梨大工　○高橋秀彰，寺山尚志，霜村　攻，櫻井　彪
　 5 クロス型レーザーエヴァネッセント波分光法によるバリアー放電壁近傍励起種の計測 山梨大工　○村田泰宏，岩下智史，櫻井　彪
　 　休 憩 15:15〜15:30 　
　 6 大気圧窒素中のバリア放電の2次元シミュレーション 都立大工　○杤久保文嘉，内田　諭，渡辺恒雄
△ 7 促進酸化及び沿面放電を併用したトルエンの分解特性 佐賀大理工　○下崎光明，宮崎幸一，山部長兵衛
△ 8 大気圧沿面放電を用いた二酸化炭素処理における添加ガスの効果 佐賀大理工　○吉田裕志，林　信哉，山部長兵衛
　 9 エチレンを添加した模擬燃焼ガスのバリア放電処理時の副生成物の計測 都立大工　森永純子，○杤久保文嘉，内田　諭，渡辺恒雄
△ 10 ICPによるCF4分解過程における副生成物のプラズマパラメータ依存性 佐賀大理工　○甲斐智之，林　信哉，山部長兵衛