OYO BUTURI
Vol.88
No.6
2019
6
20196886399
応用物理 第88巻 第6号 (2019)
研究紹介

パルス変調型誘導結合熱プラズマによるナノ材料の高効率生成

田中 康規1

変調型誘導熱プラズマ(MITP)を用いたナノ粒子の粒径制御・大量生成手法を紹介する.熱プラズマはガス温度が10,000Kにも達する高温高気圧のプラズマである.MITPでは,熱プラズマに投入する電力をミリ秒程度で変調することで,熱プラズマ温度場・反応場に周期的な擾乱じようらんを与える.筆者らは,この変調に同期させて原料を間歇かんけつ的に導入することで,高効率に原料を蒸発,高効率に核生成させて大量にナノ粒子を生成する手法を開発している.本手法により,酸化物ナノ粒子,金属イオンドープ酸化物ナノ粒子やSiナノ粒子を,数百g/hの高レートで生成できる.また,冷却過程を制御するとSiナノワイヤまでを生成できる.さらに,ナノ粒子生成過程における前駆体分子の生成・輸送過程の一端を2次元分光法により明らかにしている.

  • 1 金沢大学 理工研究域電子情報通信学系
応用物理 第88巻 第6号 p.399 (2019) 掲載