OYO BUTURI
Vol.88
No.5
2019
5
20195885346
応用物理 第88巻 第5号 (2019)
研究紹介

酸窒化物誘電体の新合成法

鱒渕 友治1

ペロブスカイト型構造をもつ金属酸窒化物は,新しい誘電体材料として注目される新規化合物群である.その合成手法は一般的に酸化物前駆体を有害なアンモニア気流中で加熱し窒化するものであり,代替手法の開発が求められていた.我々のグループではアンモニア以外の窒素源として窒化タンタルを用いた直接反応合成法や,窒化炭素を用いた新しい合成手法を開発した.これらの手法は安価で安全なだけでなく,合成温度の低温化や保持時間の短縮が可能になった.

  • 1 北海道大学 大学院工学研究院応用化学部門
応用物理 第88巻 第5号 p.346 (2019) 掲載