OYO BUTURI
Vol.88
No.5
2019
5
20195885334
応用物理 第88巻 第5号 (2019)
解説

深紫外レーザー用非線形光学結晶の開発

吉村 政志1

赤外固体レーザーと非線形光学結晶を組み合わせた波長変換方式の深紫外コヒーレント光は,半導体フォトマスクやウェーハの検査光源として広く利用されている.また,最近ではガラス複合基板や炭素繊維強化プラスチックなど難加工性材料のレーザー加工応用に向け,光源の高出力化が進められている.波長変換の最終段に用いる結晶は光源の出力,寿命を決める特に重要な素子であり,筆者は深紫外光変換特性に優れたホウ酸系結晶CsLiB6O10(CLBO)の研究に長く携わってきた.本稿ではこれまでの育成技術の進展,産業用深紫外レーザーへの実装,最近の取り組みなどを時系列で振り返りながら当該分野を解説する.

  • 1 大阪大学 レーザー科学研究所
応用物理 第88巻 第5号 p.334 (2019) 掲載