OYO BUTURI
Vol.88
No.1
2019
1
2019188126
応用物理 第88巻 第1号 (2019)
研究紹介

液体Siによる紙の上での多結晶Si薄膜トランジスタ

石原 良一1,2トリフノビッチ ミキ1スベルナ パオロ1下田 達也2

印刷エレクトロニクスはフレキシブル電子デバイスを低コスト・低環境負荷で生産できる可能性があることから注目されている.シリコン(Si)は高移動度,高信頼性のみならず,CMOS低消費電力回路を実現できる理想的な半導体材料であり,Siインクである液体Siの開発により印刷も可能となった.植物由来材料である紙基板と組み合わせることで,生分解可能な商品包装用電子タグや,経口摂取可能なバイオセンサなどへと応用発展できる.しかしこれまで,Siインクの焼成には350°C以上の温度が必要であった.本稿では,液体Siの基本と,我々が開発した液体Siインクを用いた低温ポリSi膜形成技術,紙基板上に作製した薄膜トランジスタとその特性を紹介する.

  • 1 デルフト工科大学 電子情報数理学部量子・計算機学科 QuTech
  • 2 北陸先端科学技術大学院大学 マテリアルサイエンス系環境エネルギー領域
応用物理 第88巻 第1号 p.26 (2019) 掲載