OYO BUTURI
Vol.88
No.1
2019
1
2019188111
応用物理 第88巻 第1号 (2019)
今月号の概要

スピントロニクス/イメージング技術/半導体プロセス技術

『応用物理』編集委員会

今号では,スピントロニクスやイメージング技術,半導体プロセス技術に関する最新の展開について紹介します.

「解説」では,2件の記事を取り上げます.まず,強磁性金属におけるスピンオービトロニクスの新展開として,スピン軌道トルク・ジャロシンスキー‐守谷相互作用の理解や,利用・反強磁性体やフェリ磁性体におけるスピンダイナミクスなどの最新の展開を解説します.次に,無標識分光イメージング法としての超短パルスレーザーを用いたコヒーレントラマン散乱顕微鏡に関し,基礎から医療分野応用に至る解説を紹介します.

「研究紹介」では4件の記事を取り上げます.まず,フレキシブル電子デバイスを低コスト・低環境負荷で実現する印刷エレクトロニクスに関して,液体シリコンインクを用いた低温ポリシリコン膜形成技術,紙基板上に作製した薄膜トランジスタに関して紹介します.また,半導体製造用ナノインプリントシステムについての記事では,現在,ナノスケールで低コストのリソグラフィ技術として注目されるナノインプリントについて,半導体製造に向けた新しいインプリント装置を紹介します.さらにここでは,技術開発状況や今後の展望についても詳しく紹介します.次に,生体内のタンパク質分子などの観察に用いられる超解像蛍光顕微鏡に関して,空間分解能・時間分解能ともに高いディスク回転型超解像蛍光顕微鏡法の原理と観察例を紹介します.最後に,レーザー誘起Snプラズマによる極短紫外線光源に関して,半導体量産リソグラフィを見据えた高輝度化,高安定化などについて,最先端の研究成果とともに紹介します.

応用物理 第88巻 第1号 p.11 (2019) 掲載