OYO BUTURI
Vol.87
No.12
2018
12
2018128712912
応用物理 第87巻 第12号 (2018)
研究紹介

データ科学を用いた結晶シリコンの評価

宇佐美 徳隆1羽山 優介1

近年,材料開発,製造プロセス,科学計測など幅広い分野において,研究開発の方法論は,データ科学の活用による大きな変革期を迎えている.我々は,多結晶シリコンをモデル材料として,データ収集・機械学習・理論計算を連携させ,多結晶材料の普遍的な高性能化指針の確立を目指す新たな取り組みを進めている.本稿では,その第一歩として,多結晶シリコンインゴット中の組織と転位クラスタの3次元可視化など,データ科学的手法を用いた多結晶シリコンの評価について紹介する.

  • 1 名古屋大学 大学院工学研究科
応用物理 第87巻 第12号 p.912 (2018) 掲載