OYO BUTURI
Vol.87
No.10
2018
10
2018108710749
応用物理 第87巻 第10号 (2018)
研究紹介

超高Q値シリコンフォトニック結晶光ナノ共振器の進展

髙橋 和1岡野 誠2浅野 卓3野田 進3

2次元フォトニック結晶により実現した高Q値光ナノ共振器は,多くの研究者の興味を惹(ひ)きつけてきた.中でも,シリコンナノ共振器は,この15年余り,フォトニック結晶共振器の最高Q値を更新し続けたことにより,光エレクトロニクスの枠を越えて応用研究が進められている.現在では,1000万を超えるQ値が達成されているが,近年では,フォトリソグラフィを用いた大口径基板への大量作製においても,Q値200万が安定して得られている.今後は,さらに幅広い分野での利用が見込まれる.本稿では,この数年間になされたシリコン光ナノ共振器の超高Q値化について紹介する.

  • 1 大阪府立大学 大学院工学研究科 電子物理工学分野
  • 2 国立研究開発法人産業技術総合研究所
  • 3 京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
応用物理 第87巻 第10号 p.749 (2018) 掲載