OYO BUTURI
Vol.87
No.10
2018
10
2018108710739
応用物理 第87巻 第10号 (2018)
解説

ダイヤモンド単結晶の欠陥構造

加藤 有香子1

ダイヤモンドデバイス動作時の欠陥の影響,基板・エピタキシャル成長膜品質評価のために,「どこに」「どのくらい」「どういう種類」の欠陥があるかを評価する要請が増えている.本稿では,どういった手法で,どういう欠陥を見ることができるようになっているか,どのくらいの欠陥があるのかについて紹介する.

  • 1 国立研究開発法人産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター ダイヤモンドデバイス研究チーム
応用物理 第87巻 第10号 p.739 (2018) 掲載