OYO BUTURI
Vol.87
No.10
2018
10
2018108710732
応用物理 第87巻 第10号 (2018)
解説

ナノカーボン材料を用いた新機能デバイス

佐藤 信太郎1,2

グラフェン,カーボンナノチューブ(CNT)に代表されるナノカーボン材料は,その優れた電気的,熱的,機械的特性からさまざまな応用が期待されており,例えばリチウムイオン電池の導電助剤としてのCNTなど,一部はすでに実用化されている.一方,電子デバイスへの応用ではいまだ革新的なものが実現できているとは言い難い.我々はこれまで,ナノカーボン材料の電子デバイス応用に取り組んできた.ターゲットとしては,大規模集積回路(LSI)用の配線,トランジスタ応用など,いわゆるMore Moore的な応用に加え,最近では,More than Moore的なガスセンサ,高周波検波器など,新機能デバイスへの取り組みも進めている.本稿では,ナノカーボン材料に関し,More Moore的な取り組み,More than Moore的な取り組みに関する簡単なレビューを行うとともに,我々の新機能デバイスへの取り組みの一端を紹介する.

  • 1 株式会社富士通研究所
  • 2 富士通株式会社
応用物理 第87巻 第10号 p.732 (2018) 掲載