OYO BUTURI
Vol.87
No.8
2018
8
20188878583
応用物理 第87巻 第8号 (2018)
解説

結晶成長を理解する

西永 頌1,2

結晶成長の理解のため,エピタキシャル成長を想定し,溶液成長と気相成長のメカニズムを解説した.まず,それぞれの輸送過程を見た後,表面で成長ステップがどのように形成されるかを述べた.通常の成長条件では,2次元核か,らせん成分をもつ転位かのいずれかがステップを供給することにより成長が行われることを理解し,おのおののメカニズムにより成長が行われるとき,成長速度と表面過飽和度がどのような関係にあるかを考察した.また,ナノ構造を作製するとき,ファセット-ファセット間を原子が表面拡散する現象を利用するが,その面間拡散をどのように理解するかを説明した.

  • 1 東京大学 名誉教授
  • 2 豊橋技術科学大学 名誉教授
応用物理 第87巻 第8号 p.583 (2018) 掲載