OYO BUTURI
Vol.87
No.7
2018
7
20187877525
応用物理 第87巻 第7号 (2018)
研究紹介

ミラー電子顕微鏡による微小欠陥検出

長谷川 正樹1

ミラー電子顕微鏡の歴史は古く,最初の報告は1935年に遡る.その特異な電子像形成原理は,得られた電子像の解釈を極めて困難にするため,試料表面の未知の情報を得るための顕微鏡技術としては,全くといってよいほど普及しなかった.しかしながら,工業利用される材料などの既知試料表面に存在する異常,すなわち欠陥を見つける技術としてミラー電子顕微鏡を捉えた場合,この像形成原理が高感度の欠陥検出を可能にする.本稿では,ミラー電子顕微鏡の結像原理と装置,および各種欠陥検出への応用事例について紹介する.

  • 1 株式会社日立ハイテクノロジーズ
応用物理 第87巻 第7号 p.525 (2018) 掲載