OYO BUTURI
Vol.87
No.6
2018
6
20186876436
応用物理 第87巻 第6号 (2018)
研究紹介

カリウムイオンエレクトレットを用いた新しいMEMS技術の展開

橋口 原1杉山 達彦1年吉 洋2

半導体微細加工技術で作製されるシリコンを素材とした微小振動素子に,半永久帯電を与えるエレクトレット膜を形成する技術を開発した.この技術は振動子構造作製後,カリウムイオンを導入した酸化膜を表面に形成し,その後550°C程度の温度で振動子電極間に電圧を印加することで帯電させる.そのアプリケーションとして現在開発に注力している環境振動発電素子について説明するとともに,MEMS素子として実現可能となる,双安定アクチュエータや静電トランスなどの新機能素子についても紹介する.

  • 1 静岡大学 工学部機械工学科
  • 2 東京大学 先端科学技術研究センター
応用物理 第87巻 第6号 p.436 (2018) 掲載