OYO BUTURI
Vol.87
No.5
2018
5
20185875362
応用物理 第87巻 第5号 (2018)
研究紹介

発熱多層膜を使った瞬間接合技術

生津 資大1

AlとNiのような軽金属と遷移金属を数十nmの厚みで交互に積層堆積させた金属多層膜は,外部刺激により合金化して発熱する.発熱性能は金属の組み合わせや原子比などで制御でき,酸素を要せず微小刺激で発熱するため,省エネルギーかつゼロエミッションな熱源として利用できる.ここでは,筆者らが開発した自己伝播発熱多層膜を使った瞬間はんだ接合技術を紹介する.

  • 1 愛知工業大学 工学部機械学科
応用物理 第87巻 第5号 p.362 (2018) 掲載