OYO BUTURI
Vol.87
No.5
2018
5
20185875337
応用物理 第87巻 第5号 (2018)
解説

シリコン光電子集積チップへ向けた光源集積

西山 伸彦1

データセンタやスーパーコンピュータにおけるデータ処理の高速化・大容量化の要求に伴い,光電子集積回路(OEIC),光電融合集積回路への期待が高まっている.その実用化という目的に向け,電子回路との親和性が高いシリコン(Si)プラットフォーム光集積回路へ集積可能な半導体レーザーを中心とする光源作製技術について概説する.さらに,いくつかの代表的な光源実装技術についてその現状を述べたあと,筆者らが主に取り組んでいる異種材料接合技術,その技術を利用したハイブリッドレーザー光源構造および特性の例を紹介しながら,それぞれの技術の現状を説明し,将来展開について触れていく.

  • 1 東京工業大学 工学院電気電子系
応用物理 第87巻 第5号 p.337 (2018) 掲載