OYO BUTURI
Vol.87
No.4
2018
4
20184874282
応用物理 第87巻 第4号 (2018)
研究紹介

光で動くアモルファス窒化炭素薄膜

青野 祐美1

アモルファス窒化炭素(a-CNx)薄膜は,高硬度,低摩擦係数がよく知られるところであるが,作製方法や条件で物性値が大きく異なるという特徴を有している.電気的には半導体から絶縁体まで,光学バンドギャップは0から3eVを超える値まで報告があり,多彩な特性を見せる.本稿では,最近,反応性高周波マグネトロンスパッタ法で作製したa-CNx薄膜において見つかった,可視光をダイレクトに力学的エネルギーに変換する光誘起変形について紹介する.

  • 1 防衛大学校 電気情報学群機能材料工学科
応用物理 第87巻 第4号 p.282 (2018) 掲載