OYO BUTURI
Vol.87
No.4
2018
4
20184874262
応用物理 第87巻 第4号 (2018)
最近の展望

トンネルFETを用いた超低消費電力集積回路

森 貴洋1

半導体集積回路の低消費電力化を実現するためのMOSFET代替素子として,トンネルFET (TFET) が注目されている.実用化に向けての課題はオン電流の確保にある.高いトンネル確率を実現できる新材料チャネルを用いる方法を中心に研究が進んでいるが,近年,Siチャネルにおいてトンネル確率を増大させるために等電子トラップ技術の利用が提案された.本稿では,TFETの研究動向を概観し,Siチャネルでの実用性能を実現する可能性を開いた等電子トラップ技術について最近の研究成果を紹介する.

  • 1 国立研究開発法人産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部門
応用物理 第87巻 第4号 p.262 (2018) 掲載