OYO BUTURI
Vol.86
No.11
2017
11
2017118611962
応用物理 第86巻 第11号 (2017)
研究紹介

ガラス基板上の多結晶シリコン薄膜トランジスタの高性能化・高機能化

原 明人1

IoT(Internet of Things)を構成するデバイスには,環境発電技術を利用する低電圧・低消費電力トランジスタが望まれている.それに加え,低価格であることが重要である.筆者は低価格化への1つのアプローチとしてガラス基板に注目し,低電圧で動作する低温多結晶シリコン薄膜トランジスタの実現を試みた.薄膜シリコンに対して優れた結晶品質が得られるレーザー結晶化技術を利用し,4端子低温多結晶シリコン薄膜トランジスタから構成されるCMOSインバータを作製した結果,電源電圧1.0Vでの動作を実現した.

  • 1 東北学院大学 工学部
応用物理 第86巻 第11号 p.962 (2017) 掲載